【英/法语版】国际标准 IEC 62047-26:2016 EN-FR Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures 半导体器件-微机电机械器件-第26部分：微槽和针状结构的描述和测量方法.pdf

IEC62047-26:2016EN-FR部分内容如下：半导体器件-微机电系统器件-第26部分：微槽和针状结构描述与测量方法IEC62047-26:2016标准规定了微电机械结构（MEMS）的描述和测量方法，特别是在微槽和针状结构方面。具体而言，该标准详细说明了如何设计和制造这些结构，如何测试它们的功能，以及如何分析和测量它们的性能。这项技术广泛用于各种应用，包括传感器、执行器和光学器件。对于微槽和针状结构，IEC62047-26标准提供了详细的说明，包括它们的几何形状、制造过程、功能测试以及如何通过测量来评估其性能。IEC62047-26:2016EN-FR标准对于理解和评估微机电系统器件非常重要，因为它提供了一套通用的、可重复的指导，帮助制造商设计和制造高性能的微机电系统器件。IEC62047-26:2016EN-FR标准对微电子机械系统领域具有重要影响，为这一领域的发展提供了基础和指导。需要注意的是，回答会涉及敏感的技术信息，由于篇幅限制，这里只能提供基本概述。如果您需要更详细的信息，建议您查阅相关文献资料或咨询专业人士。