产品几何技术规范（GPS） 表面结构 区域法 第73部分：实物量具表面缺陷的术语和定义 征求意见稿.docx

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产品几何技术规范（GPS）表面结构：区域法第73部分：实物标准表面缺陷的术语和定义

1范围

本文件界定了ISO5436-1和ISO25178-70中规定的实物标准及校准样块表面上可呈现出的几何缺陷类别的定义，定义了对这些缺陷处理方法的术语。

本文件适用于以下应用场合：

a）当实物标准的用户委托加工方加工实物标准，或顾客从供货方购买实物标准时，本文件有助于

实物标准的用户或顾客描述其对实物标准表面计量的标称特性（即理想几何特性）的规范。

b）使实物标准的用户能够制定其实物标准出现表面缺陷处理方法的规则，以使测量不确定度最小化。

注：在ISO/IEC17025:2017的7.2.1.1、7.2.1.3、7.3.1、7.8.5c)和7.8.5d)中需要此原则。

c）使校准实验室与用户关于送检实物标准表面缺陷的处理方法达成一致。

d）指导实物标准的用户区别不同种类缺陷的显著性和重要性的差异。

e）为其它GPS标准在选择测量位置区域，或规避的测量位置区域提供参考。为其它GPS标准在选择测量局部位置，或选择或规避的测量区域提供参考。

选择或规避测量位置区域

2规范性引用文件

本文件无规范性引用文件。

3术语定义

以下术语与定义适用于本文件。

3.1一般术语定义3.1.1

被测表面measuringsurface

校准样块表面上用于测量的部分。3.1.2

缺陷defect

实物标准测量标准器的部分几何要素（非理想表面），其几何形状和几何尺寸与公称要素（理想表面）上的几何形状偏差大于某些约定或规定的最大值，或者，在没有任何此类约定或规定最大值的情况下，大于制造测量标准器所用工艺的典型值或特征值。

注1：本文件所述测量标准器和实物标准指的是符合标准ISO5436-1和ISO25178-70规定的测量标准。除非另有说明，否则在二维应用中对表面测量标准器几何轮廓的任何参考意见/引用都可理解为也适用于三维应用中该标准器的三维表面，反之亦然。

注2：缺陷是用物理表面的一部分来识别的，而不是用这一部分的物理或几何性质来识别的。因此，整个试样可能是缺陷，在谈论去除缺陷时考虑这一点。

注3：该定义承认这样一个事实，即任何具有非随机表面结构的表面测量标准都会因制造过程而产生细小的痕迹，这些痕迹使实际表面与理想表面或标称表面不同。由于这些不完美是不可避免的，即可预见的，因此除非它们大于所采用制造工艺能带来的加工痕迹的正常值或典型值，否则不计为缺陷。对于某些对表面特征有严格要求的情况下，可能对制造公差有描述，规定哪些是可接受的，哪些是不可接受的；此时，低于这些公差限的不完美痕迹不计为缺陷。然而，在大多数情况下，不存在规定的公差，此时，将偏差计为缺陷的标准很简单，即它的大小是否超过所采用制造方法能带来的正常或标准痕迹。偏离理想表面的无法避免的例子包括：在任何尖角样块上拐角的圆弧过度，如台阶高度样块或华夫饼干样块；在玻璃平板或球体表面上

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的抛光痕迹；切削刀具在车削金属表面上的刀痕；在硅片上蚀刻的凹槽中的裂缝，以及理想情况下平坦的样板上存在的弯曲（形状误差）。

注4：注3所描述的细小痕迹是由制造过程带来的不可避免的加工痕迹，因此不被视为缺陷。这些痕迹与ISO25178-

70:2014中第5章所述“实物测量标准的实际整体表面特征应具有规定的尺度限制，而尺度限定范围之外的特征应不影响测量。”一致。

3.2缺陷分类的术语和定义3.2.1

有作用缺陷effectivedefect

在规定条件下测量时，所关注被测量的偏差大到足以影响测量值和/或测量不确定度的缺陷。3.2.2

无作用缺陷ineffectivedefect不属于有作用缺陷的缺陷。

注：在一组测量条件下的有作用缺陷，在另一组测量条件下可能是无作用缺陷。例如，一个测量标准器上的污渍在用触针式仪器测量时可以是无作用缺陷，但当此测量标准器在非接触光学测量仪器上测量时就可能是有作用缺陷。

3.2.3

可见缺陷visibledefect

裸眼能观测到的表面缺陷。

3.2.4

不可见缺陷invisibledefect裸眼不能观测到的表面缺陷。

3.2.5

外观缺陷cosmeticdefect

判定为无作用缺陷的可见缺陷。

注：有作用缺陷与可见缺陷的关系见图1。

可见有作用缺陷

不可见有作用缺陷

可见无作用缺陷（外观缺陷）

不可见无作用缺陷

图1根据可见性/不可见性和有作用性/无作用性细分的所有缺陷集合的维恩图

3.2.6

外凸缺陷outwarddefect

在缺陷区域内有凸起轮廓的缺陷（相比于没有