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电子大宗气体行业现状-规模稳步增长-在电子气体中占比较大-市场集中度高

一、电子大宗气体占全部气体成本的比例更高

电子气体是电子专用材料制造的重点产品，分为电子大宗气体和电子特种气体。电子大宗气体与电子特种气体在气体品种及用量、应用环节、供应模式、合作期限、纯度要求等方面存在本质不同。

电子大宗气体和电子特种气体对比

类别 电子大宗气体 通用工业气体

气体用量 氮气为用量最大的品种 氧气为用量最大的品种

纯度要求 整体纯度要求通常为5N-9N，对气体中单项杂质含量，不同的工艺制程有特定的指 纯度要求通常为2N-5N，对气体中单项杂质含量无特殊要求

供应方式 对于大型半导体客户以现场安装制氮装置供气为主，其余气体一般以液体槽车、气体管束车等形式运至制气现场 对于大型工业客户以现场安装空分装置供气为主

可靠性及稳定性 现场制气系统具备每天24小时的不间断的供应能力，并且对连续供应的气体纯度波动有严格要求，通常在1ppb以内 现场制气系统要求连续供应

品质管理 检测设备精度为ppb级别，且须配备连续品质控制（CQC）系统 检测设备精度为ppm级别，品质管理要求一般为COC

在集成电路制造、半导体显示等生产环节更多、生产要求更严苛、制程更先进的细分领域，电子大宗气体占全部气体成本的比例更高。

在集成电路制造、半导体显示等生产环节更多、生产要求更严苛、制程更先进的细分领域，电子大宗气体占全部气体成本的比例更高。

二、电子大宗气体应用领域广泛

电子大宗气体的下游应用领域涵盖集成电路制造、半导体显示、低温超导、电子设备及材料、光纤通信等领域。六大电子大宗气体品类下游均能应用于集成电路制造和半导体显示领域。其中，氮气还可应用于电子设备及材料的封装、电子烧结和退火环节。氦气下游还覆盖低温超导以及光纤通讯领域，分别应用于MRI磁体冷却及液氮补充以及光纤制造工艺。

电子大宗气体下游应用领域

电子大宗气体 集成电路制造 半导体显示 电子设备及材料 低温超导 光纤通信

氮气 硅片生产、光掩膜制造、电路布图、功能实现等环节 阵列制程、彩膜制程、成盒制程、模组制程 封装环节、电子烧结环节、退火环节 - -

氦气 掩膜制造、功能实现环 阵列制程、成盒制程 - MRI磁体冷却、MRI液氮补充、前沿科学研究 光纤制造工艺

氩气 光掩膜制造、电路布图、功能实现环节 阵列制程、彩膜制程 - - -

氧气 硅片生产、光掩膜制造、电路布图环节 阵列制程、彩膜制程 - - -

氢气 硅片生产、光掩膜制造、电路布图、功能实现环节 阵列制程 - - -

二氧化碳 掩膜制造、电路布图环 阵列制程 - - -

电子大宗气体作为环境气、保护气、清洁气和运载气等，覆盖泛半导体生产的各个环节。环境气体主要为氮气，主要为泛半导体生产全过程提供惰性氛围；保护气体包括氮气、氦气、氩气等，主要用于防止器件加工过程中发生氧化和反应等；清洁气体包括氮气、氦气、氩气、氧气、二氧化碳等，主要用于清洗反应后晶圆和器件上残留的杂质；运载气体包括氮气、氦气、氩气等，用以将挥发性物质和气体混合物从发生源输送至对应工艺程序中；反应气体包括氮气、氢气、氧气、氩气等，主要用作原料气和还原气，以及能够形成PN结、保护层和隔离层。

电子大宗气体在集成电路制造中的具体作用

气体种类

使用环节

具体作用

氮气

硅片生产

作为保护气、运载气、清洁气

光掩模制作

作为环境气、保护气、运载气、清洁气等

电路布图

作为保护气、运载气和清洁气

功能实现

作为环境气和运载气，并在金属层的铜制工艺中用于退火，部分晶圆厂将氮气离子化作为轰击金属靶材的气体

其他

在化学机械抛光、背面减薄和金属化、芯片封装等环节中，氮气亦可作为环境气、保护气、运载气、清洁气

氦气

光掩模制作

作为运载气

功能实现

在化学气相沉积中作为运载气，在先进制程中也作为冷却用气、保护气、溅射用气

氩气

光掩模制作

用于先进制程的紫外光刻激光器内，作为沉积反应气

电路布图

在蚀刻过程作为运载气和反应气，在涂胶、曝光、显影相关工序中作为保护气

功能实现

离子化后作为轰击金属靶材的气体

氧气

硅片生产

作为缺陷检验中的氧化气体

光掩模制作

氧气可在热氧化工艺中作为氧化反应气，并在部分先进制程产线中用于制备臭氧作为清洁气

电路布图

氧气在干法去胶工艺中作为反应气，在刻蚀工艺中也作为去除废料的反应用气

氢气

硅片生产

作为晶片外延生长的原料反应气

光掩模制作

用于外延生长和氧化工序中作为反应气

电路布图

在光刻阶段作为去除锡的反应用气

功能实现

在金属层的铜制工艺中用于退火，在沉积和离子注入等掺杂工序中作为反应气

二氧化碳

光掩模制作

部分晶圆厂将超临界态二氧化碳作为作清洁气

电路布图

部分晶圆厂将超临界态二氧化碳作为光刻镜头的保护气

三、我国电子大宗气体市场规模稳