(高清版)B-T 42597-2023 微机电系统（MEMS）技术 陀螺仪.pdfVIP

ICS31.080.99

CCSL59

中华人民共和国国家标准

GB/T42597—2023/IEC62047-20:2014

微机电系统(MEMS)技术陀螺仪

Micro-electromechanicalsystemstechnology—Gyroscopes

(IEC62047-20:2014,Semiconductordevices—Micro-electromechanicaldevices—

Part20:Gyroscopes,IDT)

2023-05-23发布2023-09-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

GB/T42597—2023/IEC62047-20:2014

目次

前言I

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4基本评级和特征1

4.1陀螺仪的分类1

4.2绝对最大额定值2

4.3正常工作额定值3

4.4性能参数3

5测量方法5

5.1标度因数5

5.2交叉轴灵敏度15

5.3零偏18

5.4输出噪声27

5.5带宽31

5.6分辨率36

附录A(资料性)陀螺仪特性测量值的准确度38

参考文献39

GB/T42597—2023/IEC62047-20:2014

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

本文件等同采用IEC62047-20:2014《半导体器件微机电器件第20部分：陀螺仪》。

本文件做了下列最小限度的编辑性改动：

a)为与现有标准协调，将标准名称改为《微机电系统(MEMS)技术陀螺仪》;

b)纠正了IEC62047-20:2014原文中的错误：更正了图18中宽带噪声范围的标注；

c)纠正了IEC62047-20:2014原文中的错误：更正了公式(20)和公式(21)的运算符号。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口。

本文件起草单位：苏州市质量和标准化院、中机生产力促进中心有限公司、工业和信息化部电子第

五研究所、东南大学、苏州市标准化协会、北京航天控制仪器研究所、华东光电集成器件研究所、四川富

生电器有限责任公司、中国合格评定国家认可中心、北京微元时代科技有限公司。

本文件主要起草人：沈俊杰、李根梓、顾枫、张硕、董显山、周再发、来萍、邢朝洋、王晓臣、张运昌、

王志远、闫桂珍。