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扫描电子显微镜使用流程及注意事项

英文回答:

ScanningElectronMicroscopy(SEM)。

ProcessWorkflow.

1.SamplePreparation:Preparethesamplebyfixing,

dehydrating,andcoatingitwithathinlayerof

electricallyconductivematerial.

2.Mounting:Mountthesampleonaspecimenstubusing

conductiveadhesiveorcarbontape.

3.VacuumChamber:Placethesampleinthevacuum

chamberoftheSEM.

4.ElectronBeamFormation:Generateafocusedelectron

beamusinganelectrongun.

5.ElectronBeam-SampleInteraction:Focustheelectron

beamonthesamplesurface,resultingintheemissionof

secondaryelectrons,backscatteredelectrons,andX-rays.

6.SignalDetection:Collecttheemittedsignalsusing

detectorssuchassecondaryelectrondetectors,

backscatteredelectrondetectors,andX-raydetectors.

7.ImageFormation:Processthecollectedsignalsto

createimagesthatrevealthesamplessurfacetopography

andcomposition.

Precautions.

SampleStability:Ensurethesampleisstableandcan

withstandthevacuumandelectronbeam.

VacuumLevel:Maintainahighvacuumlevelwithinthe

chambertopreventairscatteringandcontamination.

BeamDamage:Useappropriatebeamconditions(e.g.,

voltage,current,spotsize)tominimizesampledamage.

ElectricalHazards:GroundtheSEMandwear

appropriatesafetygear.

ImagingOptimization:Adjustimagingparameters(e.g.,

magnification,workingdistance,brightness,contrast)for

optimalimagequality.

中文回答:

扫描电子显微镜(SEM)。

流程。

1.样本制备,通过固定、脱水和覆盖一层薄薄的导电材料来制

备样本。

2.安装,使用导电胶或碳胶带将样本安装在样品台上。

3.真空室,将样本放入SEM的真空室中。

4.电子束形成,使用电子枪产生聚焦的电子束。

5.电子束样品作用,将电子束聚焦在样品表面,从而发射出二

次电子、背散射电子和X射线。

6.信号检测,使用二级电子探测器、背散射电子探测器和X

射线探测器等探测器收集发射的信号。

7.图像形成,处理收集的信号以创建图像,揭示样品的表面形

貌和成分。

注意事项。

样本稳定性,确保样本稳定,能够承受真空和电子束。

真空度,在腔室中保持高真空度,以防止空气散射和污染。

电子束损伤,使用合

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