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气体分析气体中微量水分的测定第3部分：光腔衰荡光谱法

警示——使用本文件的人员应有正规实验室工作的实践经验。本文件并未指出所有可能的安全问

题。使用者有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的条件。

1范围

本文件规定了用光腔衰荡光谱法测定气体中微量水分的试验方法，包括原理、试验条件、仪器设备、

采样、试验步骤、试验数据处理、精密度和测量不确定度、质量保证和控制、试验报告等内容的具体要

求。

-9-6

本文件适用于微量及痕量水分含量的测定，测定范围：0.1×10（摩尔分数）～20×10（摩尔分

数）。不适用于可损坏玻璃镜面的气体，例如氟化氢、氟气；不适用于对水的吸收光谱有干扰的气体，

例如硅烷、甲烷、锗烷。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文

件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T43306气体分析采样导则

3术语和定义

GB/T43306界定的以及下列术语和定义适用于本部分。

3.1

光腔Cavity

由高反射率的镜面组成的稳定光学谐振腔。

3.2

光腔衰荡CavityRing-Down

光在光腔内来回反射振荡，由于腔损耗和腔内被测组份的吸收，光强度随时间呈单指数衰减。

3.3

光腔衰荡时间CavityRing-DownTime

光腔内光子数量衰减到初始量的1/e（e为自然数）时所用的时间。

4原理

一束单波长激光进入光腔后，光束在腔镜之间来回反射振荡。当切断光源后，其能量就会随时间而

衰减，衰减的速度与光腔自身的损耗（包括透射、散射）和腔内被测组份（介质）的散射与吸收有关。

1

对于给定的光腔，其自身的损耗为常量。光能量衰减的速度与被测组份的含量有关。被测组份的含量与

其分子在光腔内的密度成正比，分子的密度由衰荡时间按公式（1）确定：

111

D……(1)



cσempty

式中：

3

——被测分子密度，与含量成正比，单位为分子每立方米（分子/m）；

C——光速，单位为米每秒（m/s）；

2

σ——分子在激光频率的吸收横截面，单位为平方米（m/分子）

——有吸收介质的衰荡时间，单位为秒（s）；

empty——在吸收介质无光谱吸收的激光频率处的衰荡时间，单位为秒（s）。

被测组分的含量根据公式（2）确定：。

DDRT11……(2)

x

NP

DANPc

总Aempty