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微电子组件项目可行性研究方案
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微电子组件项目可行性研究方案
目录
TOC\h\z13970序言 3
3884一、微电子组件项目建设内容 3
4637(一)、建筑工程 3
26684(二)、电气、自动控制系统 5
31100(三)、通用及专用设备选择 6
14743(四)、公共工程 8
20898二、工艺方案的选择 9
9376(一)、基本要求 9
11707(二)、典型工艺技术介绍 11
20953(三)、微电子组件项目组成 12
5664(四)、工艺技术方案的选择 13
10899(五)、工艺技术方案
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