精密干涉传感技术与应用 - 波前及表面检测技术概述.pptxVIP

Waveline (波线)Wavefont Testpart Wavesurface (波线) E?Acos[k?r??t] or E?Aexp[i(k?r??t)] ??????=??·??DongLiu—ZhejiangUniversity

?面形——宏观评价指标 –实际表面与理论值的偏差 –Peak-to-Valleyvalue，PV值， 峰谷值 –Root-mean-squarevalue， RMS值 –如1/4λ，或10nm?轮廓——微观评价指标 –粗糙度Testpart精密干涉传感技术与应用liudongopt@

?轮廓——微观评价指标 –轮廓偏距y(x) –轮廓最大高度Ry –轮廓算数平均偏差Ra–轮廓均方根偏差Rq精密干涉传感技术与应用liudongopt@

PhasicsSID4wavefrontsensorZYGOinterferometerHartmann-SharkwavefrontsensorDongLiu—ZhejiangUniversityWhitelightprofiler

Wavefront sensing system Optical systemundertestWavefront sensing systemTestsampleLaserwavefrontdiagnosisFlowfieldvisualization Wavefront sensing systemPlanarfiguremetrology Wavefront sensing systemAberrationmeasurementSpherical/Asphericfiguremetrology Testsample Wavefront sensing systemDongLiu—ZhejiangUniversity

精密干涉传感技术与应用liudongopt@

精密干涉传感技术与应用liudongopt@

Wavefront sensing system Optical systemundertest Wavefront sensing system精密干涉传感技术与应用TestsampleLaserwavefrontdiagnosisFlowfieldvisualization Wavefront sensing systemPlanarfiguremetrology Wavefront sensing systemAberrationmeasurementSpherical/Asphericfiguremetrology Testsample Wavefront sensing system liudongopt@

liudongopt@平行平板 剪切量 横向剪切波前精密干涉传感技术与应用

精密干涉传感技术与应用liudongopt@

1?1??1?k?cr2?非球面?二次(曲面)非球面?高次(曲面)非球面精密干涉传感技术与应用liudongopt@2cr2z??A4r4?A6r6?A8r8?椭球面

分类依据具体类型举例是否对称旋转对称非球面二次曲面、旋转高次曲面非旋转对称非球面圆柱面、复曲面、环形曲面等无对称中心非球面自由曲面阵列表面光栅、菲涅耳透镜、二元光学元件等外形尺寸大型非球面(口径大于0.5m)应用于天文望远镜、卫星等中型非球面一般光学仪器，如显微镜、瞄准仪等微型非球面(口径毫米或亚毫米量级)应用于光通信、手机摄像头等制造精度高精度非球面（精度纳米量级）应用于天文、光刻等高精密仪器中等精度非球面（精度1~4μm）如普通光学仪器中的物镜、目镜等低精度非球面（精度0.02~0.2mm）多用于非精密、非成像的大中型生民用设备精密干涉传感技术与应用liudongopt@非球面的分类

?非球面检测与球面检测的不同 –消球差镜无法得到零位条纹精密干涉传感技术与应用非球面度：非球面与球面的偏离程度。 liudongopt@

f1?R?[f(x)?g(x)]f1?R?[f(x)?g(x)]df2?lcos?123