精密干涉传感技术与应用 - 干涉球面检测与子孔径拼接.pptxVIP

牛顿环的来源

1675年，牛顿在进一步考察胡克研究的肥

皂泡薄膜的色彩问题时观察到一种干涉现象，

将一块曲率半径较大的平凸透镜放在一块玻璃

板上，用单色光照射透镜与玻璃板，就可以观

察到一些明暗相间的同心圆环，这些同心圆环

即为牛顿环。

基本原理

精密干涉传感技术与应用

rn2(Rh)2R2

rn2R2-(Rh)2

=(RRh)(RRh)

=(2Rh)h

hrn2/(2R)

II1I22I1I2cos

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牛顿干涉仪

-抛光阶段的光学透镜表面（球面）检测是牛顿干涉仪

最重要的应用之一

-标准样板：检验透镜表面质量与曲率半径误差

标准要求

精密干涉传感技术与应用

牛顿环越多，误差越大

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牛顿干涉仪的缺点

牛顿干涉仪仅适合两个表面之间空气间隙较小的场合，其

所能测量的空气厚度不过几个波长。若被侧面和标准样板之间

的空气间隔较大，如数毫米时，牛顿干涉仪则不再适用。

参考：平面干涉仪

表面平面度测量

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Fizeau光路图

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H

e2

h

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基于菲索干涉仪的球面镜检测光路

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TS

凹球面

凸球面

TS

菲索（Fizeau）干涉仪

-标准镜的选择

ZYGO干涉仪配备了一系列标准球面参考镜用于产生不同数

值孔径的球面参考波，用以匹配一定范围数值孔径的球面。

匹配被测球面示意图

匹配原则：TS的F/#必须等于或小于被测球面的R/#

干涉

R2

D2

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且二者要尽量接近！

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干涉图

图

CCD

D

R2

D2

球面波的匹配原则：

R1

TS1

f

R2

参考镜的F/#

被测面的F/#，即

f

D

匹配被测球面示意图及覆盖区域

凹球面的系列化

4inch，6inchTS

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凸球面的系列化

25mm口径的TS

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泰曼-格林干涉仪

-单色光代替Michelson干涉仪中的扩展光源

泰曼-格林干涉仪

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迈克尔逊干涉仪

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PBS

参考平面镜

基于泰曼-格林干涉仪的球面镜检测光路

-凹球面

PZT推动

激光扩束器

四分之一

波片消球差透镜

被测面

检偏器

成像镜

起偏器

干涉

激光器

检测光路

CCD

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PBS

参考平面镜

基于泰曼-格林干涉仪的球面镜检测光路

-凸球面

PZT推动

激光扩束器

四分之一

波片消球差透镜

被测面

检偏器

成像镜

起偏器

干涉

激光器

检测光路

CCD

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球面检测的共焦位置

如果被侧面歪了呢？

被测件的位姿误差会对干涉图判读造成很大的影响

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球面检测的光路调整步骤（凹球面为例）

1.校准平面镜：平面波干涉

平面镜的准确定位是校准消球差透镜的前提

参考平面镜

四分之一

波片

PBS

激光扩束器

检偏器

成像镜

起偏器

干涉

激光器

CCD

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PBS

四分之一

波片

球面检测的光路调整步骤（凹球面为例）

2.校准消球差镜：球面检测的关键步骤

将平面波变为球面波，更好地匹配球面镜的轮廓

参考平面镜

激光扩束器

检偏器

成像镜

起偏器

干涉

激光器

CCD

光线原路返回

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球面检测的光路调整步骤（凹球面为例）

3.放置球面镜：与干涉仪光轴一致

PBS

四分之一

波片

参考平面镜

激光扩束器

检偏器

成像镜

起偏器

干涉

激光器

CCD

非共焦位置

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球面检测的光路调整步骤（凹球面为例）

4.移动球面至共焦位置

参考球面波曲率半径与被测面曲率半径相等的位置

PBS

四分之一

波片

参考平面镜

激光扩束器

检偏器

成像镜

起偏器

干涉

激光器

CCD

孔径光阑

理

想

情

况

精