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- 2024-07-30 发布于江西
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中文摘要
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压电陶瓷作动器具有高精度、低噪声、响应快以及驱动力大等特点,广泛应用于
航天、半导体、图像处理、数据存储以及生物科技与生命技术等领域。但是在实际应
用中,其在输入电压作用下存在的率相关动态特性,严重影响了控制精度,甚至可能导
致控制系统产生振荡。因此,研究高精度迟滞建模和精密微位移跟踪控制方法对表征
迟滞非线性具有重要的意义和价值。
本文以压电陶瓷作动器为研究对象,旨在对迟滞非线性系统的建
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