压电陶瓷作动器的广义Duhem迟滞建模与控制研究.pdfVIP

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  • 2024-07-30 发布于江西
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压电陶瓷作动器的广义Duhem迟滞建模与控制研究.pdf

中文摘要

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压电陶瓷作动器具有高精度、低噪声、响应快以及驱动力大等特点,广泛应用于

航天、半导体、图像处理、数据存储以及生物科技与生命技术等领域。但是在实际应

用中,其在输入电压作用下存在的率相关动态特性,严重影响了控制精度,甚至可能导

致控制系统产生振荡。因此,研究高精度迟滞建模和精密微位移跟踪控制方法对表征

迟滞非线性具有重要的意义和价值。

本文以压电陶瓷作动器为研究对象,旨在对迟滞非线性系统的建

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