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覆层厚度测量仪校准结果测量不确定度评估报告

概述

1.1测量方法：依据JJG818-2005《磁性、电涡流式覆层厚度测量仪检定规程》；

1.2环境条件：温度（20±2）℃，温度变化≤1℃/h。相对湿度≤75%；

1.3测量标准：标准厚度片，U=h×0.6%(k=2)；

1.4被测对象：HCC-24覆层厚度测量仪（以下简称测厚仪），B级，分辨力1μm；

测量过程：

首先按使用说明书对测厚仪进行调校，然后用测厚仪测量标准厚度片，此次测量点为：126.7μm、506μm、1053μm，仪器示值的平均值hi与标准厚度片的实际值Hi之差即为示值误差。

2.数学模型

示值误差计算公式：

式中：——测厚仪在某点的示值误差；

——该点仪器的平均测量值；

——标准厚度块的标准厚度值。

3.方差和灵敏系数

依，有：

式中：

则

4.输入量的标准不确定度计算

4.1输入量的标准不确定度主要来源

输入量的标准不确定度的主要来源评定：标准厚度片引入的不确定度分量，测量时的测量力及其变动引入的不确定度分量，被测测厚仪分辨力引入的不确定度分量，测量重复性引入的不确定度分量。

4.2标准厚度片引入的不确定度分量

根据标准片校准证书，标准厚度片的厚度测量结果不确定度为：U=h×0.6%(k=2)，则：

126.7μm标准厚度片：0.380μm

506μm标准厚度片:1.52μm

1053μm标准厚度片:3.16μm

4.3测量力及其变动性引入的不确定分量

测量力及其变动性不超过时，对测量结果的影响可忽略，

4.4仪器分辨力引入的不确定度分量

由仪器分辨力d引入的不确定度分量呈矩形分布，由此带来的标准不确定度为：

0.289μm

4.5仪器测量重复性引入的不确定度分量

根据JJG818-2005检定规程，按仪器测量重复性规定同一点测量10次，取极值情况，正态分布计算：

126.7μm测量点：0.320μm

506μm测量点：1.08μm

1053μm测量点：2.17μm

5.合成标准不确定度计算

5.1标准不确定度一览表

标准不确定度一览表

测量点

（μm）

标准不确定度分量u(xi)

不确定度来源

标准不确定度（μm）

ci

(μm)

126.7

u1

标准厚度片

0.380

-1

0.422

u2

测量力及其变动性

0

1

0

u3

仪器分辨力

0.289

0.289

u4

测量重复性

0.320

0.320

506

u1

标准厚度片

1.52

-1

1.69

u2

测量力及其变动性

0

1

0

u3

仪器分辨力

0.289

0.289

u4

测量重复性

1.08

1.08

1053

u1

标准厚度片

3.16

-1

3.51

u2

测量力及其变动性

0

1

0

u3

仪器分辨力

0.289

0.289

u4

测量重复性

2.17

2.17

5.2合成标准不确定度

输入量彼此独立不相关，所以合成标准不确定度可按下式得到：

则，126.7μm测量点：0.57μm

506μm测量点：1.9μm

1053μm测量点：3.8μm

6.扩展不确定度计算

取包含因子＝2，扩展不确定度：，则：

126.7μm测量点：1.2μm

506μm测量点：3.8μm

1053μm测量点：7.6μm

7.报告

测厚仪各测量点示值误差的测量结果的扩展不确定度为：

126.7μm测量点处：U＝1.2μmk=2

506μm测量点处：U＝3.8μmk=2

1053μm测量点处：U＝7.6μmk=2