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2024年碳化硅基板项目安全调研评估报告

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2024年碳化硅基板项目安全调研评估报告

目录

TOC\o1-9前言 4

一、生产控制的基本程序 4

(一)、碳化硅基板生产控制的基本程序 4

二、碳化硅基板项目绩效评估 5

(一)、绩效评估指标 5

(二)、绩效评估方法 6

(三)、绩效评估周期 7

三、碳化硅基板项目选址可行性分析 8

(一)、碳化硅基板项目选址 8

(二)、用地控制指标 8

(三)、节约用地措施 10

(四)、总图布置方案 11

(五)、选址综合评价 12

四、土建工程设计 13

(一)、建筑工程设计原则

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