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中华人民共和国工业和信息化部
电子计量技术规范
JJFZ(电子)008─2022
在片电学参数标准件校准规范
CalibrationSpecificationForOn-waferElectricalParametersStandards
××××-××-××发布××××-××-××实施
中华人民共和国工业和信息化部发布
JJFZ(电子)008-2022
在片电学参数标准件校准
规范JJFZ(电子)008─2022
CalibrationSpecificationForOn-wafer
ElectricalParametersStandards
归口单位:中国电子技术标准化研究院
主要起草单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
本规范技术条文委托起草单位负责解释
JJFZ(电子)008-2022
本规范主要起草人:
丁晨(中国电子科技集团公司第十三研究所)
吴爱华(中国电子科技集团公司第十三研究所)
翟玉卫(中国电子科技集团公司第十三研究所)
参加起草人:
乔玉娥(中国电子科技集团公司第十三研究所)
刘岩(中国电子科技集团公司第十三研究所)
范雅洁(中国电子科技集团公司第十三研究所)
JJFZ(电子)008-2022
目录
引言II
1范围1
2引用文件1
3术语与定义1
4概述1
5计量特性1
5.1在片低值电阻1
5.2在片高值电阻1
5.3在片电容1
6校准条件1
6.1环境条件1
6.2测量标准及其他设备1
7校准项目和校准方法2
7.1校准项目2
7.2校准方法2
8校准结果表达6
9复校时间间隔7
10附录7
附录A原始记录格式8
附录B校准证书内页格式10
附录C测量不确定度评定示例12
I
JJFZ(电子)008-2022
引言
本规范依据JJF1071−2010《国家计量校准规范编写规则》、JJF1059.1−2012《测
量不确定度评定与表示》编写。
本规范为首次发布。
II
JJFZ(电子)008-2022
在片电学参数标准件校准规范
1范围
本规范适用于低值电阻范围在1Ω~1000Ω、高值电阻范围在100MΩ~1GΩ,电容范
围在1pF~100pF(1kHz~1MHz)的在片电学参数标准件的校准。
2引用文件
无
3术语与定义
下列术语和定义适用于本规范。
3.1在片电学参数标准件on-waferelectricalparametersstandards
用于校准在片测试系统电学参数的量传标准件,为在片形式且赋有标准值,通常包
含低值电阻、高值电阻和电容三个参数,也有包含单参数或两个参数的标准件,其中低
值电阻包含在片短路器,电容包含在片开路器。
4概述
在片电学参数标准件是校准在片测试系统电学参数的
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