1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 学术论文
  5. 自然科学论文

脉冲激光沉积TiO2等离子体状态诊断及薄膜特性的研究.pdfVIP

  • 33
  • 0
  • 约7.56万字
  • 约 54页
  • 2024-08-05 发布于江苏
  • 举报

脉冲激光沉积TiO2等离子体状态诊断及薄膜特性的研究.pdf

    摘要

    摘要

    脉冲激光沉积（PLD）能够通过改变激光参数、加入背景气体、调节靶与衬底

    间距和衬底温度对沉积过程进行控制，已作为一种潜在的技术运用于各种纳米薄

    膜材料的制备。该技术具有较高的沉积速率和良好的兼容性，非常适用于氧化物薄

    膜的沉积。然而，激光与固体样品靶的相互作用是一个复杂的过程，它由不同的阶

    段组成：激光烧蚀靶材；等离子体生成；激光与等离子体相互作用；等离子体膨胀

    与衬底进行作用。这些过程对薄膜生长都起着非常重要的作

    脉冲激光沉积TiO2等离子体状态诊断及薄膜特性的研究.pdf 原文免费试下载

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >