《纳米定位与扫描平台术语GBT+38616-2020》详细解读.pptx

《纳米定位与扫描平台术语GB/T38616-2020》详细解读;;;涉及内容;;;2.2柔性铰链机构;2.3纳米定位与扫描平台;平台运动维度;;3.检测术语;;;;1.压电陶瓷驱动器（PiezoActuator）

这是一种利用纵向压电效应将电能转化为机械能的陶瓷元件，是纳米定位与扫描平台中的重要组成部分。

2.柔性铰链机构（FlexureHingeMechanism）

这是一种利用材料弹性形变产生位移的特殊运动副，具有无机械摩擦、运动灵敏度高和位移分辨力高等特点。它在平台传动导向机构中发挥着关键作用。

3.纳米定位与扫描平台（NanoPositio