(正式版)H-G∕T 5962-2021 硅片切割废液处理处置方法.docxVIP

ICS13.030.20

CCSz05HG中华人民共和国化工行业标准

HG/T5962—2021

硅片切割废液处理处置方法

Treatmentanddisposalmethodforwasteliquidofsiliconcutting

2021-08-21发布2022-02-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

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HG/T5962—2021

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的

规定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由中国石油和化学工业联合会提出。

本文件由全国废弃化学品处置标准化技术委员会(SAC/TC294)归口。

本文件起草单位：嘉兴市环科环保新材料科技有限公司、中海油天津化工研究设计院有限公司、广州市环境保护技术设备有限公司、浙江水知音环保科技有限公司、渤海宏铄(连云港)清洁技术有限公司。

本文件主要起草人：金月祥、王彦、茹伟原、阮忠强、王立林、金佳媛、陆思伟、倪康、朱鸿宇、王莹、黄正浩。

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HG/T5962—2021

硅片切割废液处理处置方法

1范围

本文件规定了硅片切割废液(浆)的组成、处理处置方法、环保排放要求。本文件适用于硅片切割生产线产生的切割废液(浆)的处理处置。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

GB5085.7危险废物鉴别标准通则GB8978污水综合排放标准

GB16297大气污染物排放标准

GB18599一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准

3术语定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4硅片切割废液的组成

硅片切割废液(浆)的主要成分见表1。

表1

成分

含量

金刚线硅片切割

砂线配合砂浆切割

离线废浆料

在线废浆料

聚乙二醇w/%

45～47

19～21

碳化硅w/%

44～46

31～33

硅粉w/%

47～49

5～7

46～48

水w/%

50～52

2～4

0.9～1.1

金属杂质w/%

0.9～1.1

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5硅片切割废液的处理处置方法

5.1金刚线硅片切割废液处理处置

5.1.1方法提要

切割废液(废水、冷却液)经压滤分离，液相经净化处理后得到回收水回用，固相(固废)经处理后可回收硅。

5.1.2工艺流程简述

切割废液(废水、冷却液)统一收集于废水收集池，用板框压滤机进行固液分离。液体经陶瓷滤膜过滤后，大部分返回切割工艺回用(得到的回用水),少量高浓废水进入污水站高浓废水池进行进一步处理。固废中含有硅粉及少量金属杂质，经处理后交由具有硅回收能力的企业进行硅提纯处理。

5.1.3工艺流程图

金刚线硅片切割废液处理处置工艺流程见图1。

金刚线切片机切割废液(废

金刚线切片机切割废液(废水、冷却液)

废水收集池

板框压滤机

固废处理(硅粉及少量金属杂质)

陶瓷滤膜过滤

污水站高浓废水池

回用水收集罐

图1金刚线硅片切割废液处理处置工艺流程

5.1.4工艺控制参数

切割废液处理温度：50℃~60℃。

搅拌时间：30min～60min。

水洗：pH6～8。

烘干温度：105℃~110℃。

烘干时间：60min～90min。

5.1.5主要生产设备

切割废液处理主要设备包括：加热搅拌装置、板框压滤机、陶瓷膜过滤器及收集罐。

5.1.6各工序处理效果及计算

各工序处理效果按附录A计算，并符合下列要求：

a)回用水不溶物含量不大于10g/L;

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b)回用水pH为6～8。

5.2砂线配合砂浆切割废液处理处置5.2.1切割废浆料(离线)处理处置方法提要

切方后的切割废浆料(离线)经压滤分离得到聚乙二醇(高浓度),回用于切片工序。滤饼(砂料)加入后续工