硅单晶及硅片单位产品能源消耗限额（编制说明）.docx

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《硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额》编制说明

一、标准编制背景及任务来源

（一）标准制定的重要性和必要性

全球95%以上的半导体器件采用硅作为衬底材料，90%以上的芯片和传感器都是基于半导体单晶硅片制成的，它支撑了整个半导体产业和电子产品市场发展。从半导体硅片的尺寸来看，半导体工业一直在不断增加使用的硅片直径，因为硅片直径越大，可用于制造的芯片数量就越多；随着市场对器件品质要求的不断提高，电压等级也在提高，外延层厚度呈越来越厚的发展趋势。上海市政府把半导体大硅片作为重点工作。上海硅片产业在半导体硅片领域基本实现了产品尺寸、产品类型、应用领域、工艺节点的全面覆盖，8英寸及以下硅片（抛光片及外延片）工艺技术成熟，生产、供应稳定，具有一定规模；12英寸硅片的制造突破了关键核心技术，推进了生产技术“自主可控”的进程，实现正片规模化量产，但还需提升产能、稳定性，保障国内市场对半导体大硅片的需求。

2020年颁布实施的地方标准《单晶硅及其硅片单位产品能源消耗定额》（DB31/792-2020）是在DB31／792—2014《硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额》基础上修订实施的，当时已根据上海市半导体行业硅片生产的情况对产品分类、能耗值及其他相关内容进行了修订，标准适用范围涵盖的硅片直径覆盖6英寸及以下，外延片厚度50μm以下，工艺或产品分类覆盖了硅片生产的全工序（包括晶棒、研磨片、抛光片、外延片），为生产企业的能效

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考核提供了依据，引导企业提升节能、用能水平，促进企业加快调整产品结构、置换新型设备，为上海半导体产业的发展起到了积极的作用。2020年以来，为适应半导体行业对衬底材料的要求，沪硅企业加大了技术创新力度，产品等级得到很大提升，8英寸产品形成稳定的较大生产规模；外延片厚度增加，12英寸的产品得到长足发展。2020版标准在产品尺寸的覆盖上、产品/工序的分类上，与沪硅企业的现状以及向大尺寸硅片发展的目标已经存在一些差异和不适应。

综上，为使标准成为考核企业能源消耗和政府相关部门对该产品相关建设项目的评价科学合理的依据，和促进企业积极节能降耗，有必要对《单晶硅及其硅片单位产品能源消耗定额》（DB31/792-2020）标准从能耗统计产品的类型、尺寸范围等进行修订，同时对能耗限额值进行调整，以更好地发挥该标准的引导作用。

（二）任务来源

2024年6月，上海市市场监督管理局下达了2024年度第二批上海市地方标准制修订计划（沪市监标技【2024】299号），其中第13项计划为《硅单晶及其硅片单位产品能源消耗限额》（DB31／792-2020）的修订，上海有色金属行业协会为第一起草单位，上海市能源标准化技术委员会归口管理。

（三）主要起草单位和参编单位

本标准由上海有色金属行业协会负责起草，上海市有色金属标准化技术委员会、上海合晶硅材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司、上海新傲科技股份有限公司、上海新昇半导体科技有限公司、上海超硅半导体股份有限公司等单位参加编制。

二、主要工作概述

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（一）资料收集与研究

通过相关检索，目前尚未查到可比或可采标的国际、国家及行业关于半导体硅单晶及其硅片能耗限额的标准。

在标准的编制过程中，有如下文件应作为主要参照或遵守的依据：标准的编制要求应符合GB/T1.1关于标准的通用原则、GB/T12723关于单位产品能源消耗限额编制的原则；综合能耗计算原则、计算范围和计算方法、各能源折算标煤的方法参照GB/T2589标准；标准内容中：关于能源计量器具，能耗监测系统的配备和使用，参照GB17167标准的要求；能源消耗量的计量和计算，参照GB/T2589标准的要求；适用产品的定义及分类参照GB/T12964，GB/T14139标准。

（二）企业情况调研

2024年3月，标准编制工作组对本市生产硅单晶及其硅片的六家企业发出了调研函，就产品生产情况和能耗水平进行调研。根据行业调查，2019年以后，本市的硅片产业特别是大尺寸（12英寸抛光片和外延片）得到了长足发展，技术做到了自我主导和控制，产品稳定供应市场；但基于能耗的要求，有一家企业的生产线全部迁出上海，一家企业的晶棒以及8英寸抛光片生产基地迁往外地。2020年修订发布的本标准对本市硅单晶、硅片生产企业调整产品结构和节能降耗起到了一定的推进作用。本次修订，编制工作组收到了五家企业提供的产品生产及能耗数据，经分析后认为，获取的能耗数据能够代表本市硅材料生产企业当今生产能源消耗情况，可作为本次标准修订的依据。

（三）标准修订过程

2024年2月，上海有色金属行业协会制订了《硅单晶及其硅片单位产品