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ICS
CCS
团体标准
T/CESAXXXX—202X
单晶炉热平衡和热效率及综合能耗的计算
方法
Calculationmethodofthermalequilibrium,thermalefficiency
andcomprehensiveenergyconsumptionforsiliconsinglecrystalgrower
征求意见稿
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已授权的专利证明材料为专利证书复印件或扉页，已公开但尚未授权的专利申
请证明材料为专利公开通知书复印件或扉页，未公开的专利申请的证明材料为专利
申请号和申请日期。
202X-XX-XX发布202X-XX-XX实施
中国电子工业标准化技术协会发布
T/CESAXXXX—202X
版权保护文件
版权所有归属于该标准的发布机构，除非有其他规定，否则未经许可，此发行物及其章节不得以其
他形式或任何手段进行复制、再版或使用，包括电子版，影印件，或发布在互联网及内部网络等。使用
许可可于发布机构获取。
I
T/CESAXXXX—202X
目 次
前 言III
1范围1
2规范性引用文件1
3热平衡测试与计算基准1
4测定项目及测定方法1
5物料平衡计算方法2
6热平衡计算方法3
7热效率计算方法8
8综合能耗计算方法8
II
T/CESAXXXX—202X
前 言
本标准按照GB/T1.1—2009《标准化工作导则：标准化工作导则第1部分标准的结构和编写》给
出的规则起草。
注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标准由工业和信息化部节能与综合利用司提出。
本标准由中国电子技术标准化研究院归口。
本标准起草单位：
本标准主要起草人：
III
T/CESAXXXX—202X
单晶炉热平衡和热效率及综合能耗的计算方法
1范围
本标准规定了单晶炉热平衡、热效率和综合能耗的计算方法。
本标准适用于单晶硅棒生产工序的单晶炉热平衡、热效率及综合能耗的计算。对于其它类型的电阻
炉热平衡、热效率及综合能耗的计算可参照采用本标准。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T2589综合能耗计算通则
3热平衡测试与计算基准
物料平衡和热平衡计算单位
物料平衡、热平衡的计算单位分别为kg、kJ。
基准温度与基准压力
以单晶炉车间内的环境平均温度为基准温度。
基准压力为1个标准大气压，即101325Pa。
热平衡测试
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