原创力文档- 1、本文档共11页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
ITO
本技术属于陶瓷靶材绑定技术领域，具体涉及一种拼接型靶材的粘结方法，包括以下步
骤：准备铜背板和靶材、铜背板前校正、背板粘贴高温胶带、靶材粘贴锡纸、背板与钢板固
定、背板表面金属化、靶材表面金属化、绑定铟层的处理、靶材绑定、降温、除去高温胶带
及锡纸、超声波探伤、抛光、清洗、包装，完成粘结。本技术对背板采用前校正的方式，使
背板反向弯曲一定量，且将校正后的背板与钢板固定，保证背板在升降温过程中的平整度，
ITO
防止粘结中靶材开裂，造成靶材浪费；对的拼接性靶材进行粘结，产品尺寸大，满足
TFTLCD/OLED98%1mm
液晶面板尺寸的要求；靶材与铜背板结合率达以上，平整度在以
内，提高后续镀膜品质。
技术要求
1.ITO
一种拼接型靶材的粘结方法，其特征在于，包括以下步骤：
1
（）把背板放置于校正设备上，通过缓慢压下上压杆，使背板反向弯曲一定量；
21
（）将步骤（）处理后的背板和钢板固定；
3
（）在背板非工作区域粘贴高温胶带，靶材溅射面粘贴锡纸；
43
（）将步骤（）处理后的靶材和背板放置于加热平台上，启动加热平台，均匀升温至
一定温度后，将熔化后的铟倒入靶材和背板背铟面将铟刮平覆盖靶材和背板表面，然后
用超声波背铟机连续性涂刷靶材和背板表面多次；
54
（）在步骤（）处理过的背板背铟面倒入熔化的铟液，使铟液完全覆盖整个背板背铟
面，并在铟液中均匀放置铜丝后，用刮刀除去铟液表面的铟氧化层；
645
（）将步骤（）处理后的一块靶材背铟面先缓慢平推入步骤（）处理过的背板背铟
面，然后在靶材溅射面均匀放置压块；
76
（）其余几块靶材按步骤（）中同样的方法进行粘结，其中靶材和靶材之间的间隙用
间隙片固定；
8
（）关掉加热平台，对粘结完成的产品进行降温处理，待温度降至一定温度时，将间隙
片取掉；
9
（）待温度降至室温后，对其进行高温胶带去除、超声波探伤、抛光、喷砂、清洗、包
装。
2.1ITO1
根据权利要求所述的一种拼接型靶材的粘结方法，其特征在于，步骤（）所述背
-2~-5mm
板反向弯曲量为。
3.1ITO2
根据权利要求所述的一种拼接型靶材的粘结方法，其特征在于，步骤（）所述钢
23~27mm
板厚度为。
4.1ITO3
根据权利要求所述的一种拼接型靶材的粘结方法，其特征在于，步骤（）所述靶
1400~2650mm200~272mm6~10mm
材长度为，宽度为，高度为。
5.1ITO4
根据权利要求所述的一种拼接型靶材的粘结方法，其特征在于，步骤（）所述升
160~24060~240min
文档评论（0）