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《IC制造工艺》课程介绍;;《IC制造工艺》课程旨在培养学生熟悉半导体集成电路制造工艺流程,掌握集成电路制造各工序工艺原理和操作方法,工艺参数检测和工艺质量分析方法,使学生具备工艺设备操作、工艺检测、工艺分析的能力,并具备一定的工艺流程设计和工艺管理能力。;单元;参考教材:
《集成电路制造工艺》电子工业出版社孙萍主编2014版
特别说明:
1.课程中部分动画由常州奥施特信息科技有限公司制作。
2.教学课件中部分素材来自于与参考教材配套的资源。
3.教学课件中部分素材来自于中科院苏州纳米所纳米加工平台。
4.部分视频和图片来自于网络。
;谢谢
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