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单元1:集成电路制造工艺概述;集成电路制造工艺的发展;半导体(Semiconductor);
第一代半导体:Si、Ge等;
第二代半导体:GaAs、InP等;
第三代半导体:SiC、GaN等。
微电子学(Microelectronics);
集成电路(IC,IntegratedCircuit)。;微电子是电子学的一门分支学科,主要研究电子在半导体和集成电路中的物理现象、物理规律及其应用。;微电子学以实现电路和系统的集成为目的,实用性强。
微电子学中的空间尺度通常是以微米(um,1um=10-6m)和纳米(nm,1nm=10-9m)为单位的。
微电子学的核心是集成电路。微电子技术的是以集成电路为核心的技术。;简称:IC,通常也可称为芯片。
定义:是指通过一系列特定的加工工艺,将晶体管、二极管等有源器件和电阻、电容等无源器件,按照一定的电路互连,“集成”在一块半导体单晶片上,封装在一个外壳内,执行特定电路或系统功能的复杂电子系统。;7;一.集成电路制造工艺的发展历史;9;11;集成电路发展的五个时代:;14;2.集成电路的发展方向;(2)集成电路的特征尺寸(CD)越来越小;Moore定律是在1965年由INTEL公司的GordonMoore提出的。;1、芯片上所集成的晶体管的数目,每隔18个月就翻一番。
2、微处理器的性能每隔18个月提高一倍,而价格下降一倍。
3、用一个美元所能买到的电脑性能,每隔18个月翻两番。;;三.中国的集成电路产业;一.集成电路的工艺发展史;谢谢
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