半导体器件可靠性物理.ppt

半导体可靠性物理DepartmentofmicroelectronicsPekingUniversity课程的目的1.了解半导体器件可靠性研究的发展过程2.熟悉引起半导体电路失效的主要模式3.熟悉引起器件退化的主要退化机制4.基本掌握器件退化的主要表征技术和检测方法课程目的半导体器件可靠性物理可靠性综述半导体可靠性的特点和主要内容半导体可靠性的研究进展MOS器件退化机制和模型E2PROM退化机理和模型静电放电(ESD)损伤电极系统的退化、失效机理电学退化的表征和测量技术课程内容可靠性综述两种关于管理的观念FrederickTaylor提出的“科学管理观”－深入现代工业生产过程PeterDrucker提出“新管理观”综述将质量管理上升为独立的体系工人只是生产过程的一个环节管理者来计划和决定一切好的管理是“发掘和动员”员工的才智创造出价值工程技术人员是自己当然的“管理者”可靠性的内涵“质量”实质体现为自由－决定来自生产者和消费者byPatrickConnor可靠性的内涵－生产过程中的有机组成部分综述对生产者的规范和控制不能提高内在品质而非单纯的制度和规定来获得主体为工程技术人员而非“生产管理者”可靠性的特性直观的理解来自于“失效”综述时间相关性－工作寿命统计特性－来自各种波动因素成品率决定性－而非制度标准ISO9000带来繁琐的文档工作着重于标准而非创新－直接的品质提高可靠性工作的现状综述项目工程师－乐观主义；效益创造者可靠性工程师－悲观主义；无所事事的“地下工作者”错误的认识工作的角度项目工程师－关心现在和可预见的未来可靠性工程师－关心不确定的未来常常存在的局面管理者(往往非工程师)只着眼短期效益而非长期可靠性常常导致：痛苦的失效分析；低效；发展疲软可靠性观点和方法首先应教给高层管理人由上向下来驱动可靠性工作半导体可靠性的特点和主要内容半导体可靠性物理学研究领域、研究任务、研究内容半导体可靠性物理学产生过程及其重要性半导体可靠性物理学课程的重点半导体可靠性是什么？干什么？为什么学？学什么？半导体可靠性物理学研究领域是什么？六十年代后期崛起的一门新兴的边缘学科，目前尚处于不断发展和完善阶段。半导体可靠性物理学半导体物理学半导体工艺学材料学化学冶金学电子学环境工程学系统工程学半导体可靠性干什么？半导体可靠性物理学研究任务简而言之，半导体可靠性物理学主要是从发生在半导体内部的各种物理效应的角度，从原子、分子运动的角度来研究如何提高半导体可靠性的一门学科。失效规律、模式失效机理表征技术可靠性评估、可靠性设计和使用规范等半导体可靠性主要的研究内容Whatfailed?研究领域和任务什么Howdiditfailed?Whydiditfailed?怎么为什么器件失效(氧化层击穿、器件特性退化)、电迁移等某种条件下，电学特性的变化规律判定退化机制及其对器件行为的影响半导体可靠性半导体可靠性物理学与半导体物理学的区别研究领域和任务研究范畴电应力(电压、电流、频率等)界面态缺陷氧化层缺陷半导体可靠性研究对象半导体可靠性物理学与半导体物理学的区别研究领域和任务研究范围t=0半导体物理学半导体可靠性物理学半导体物理学半导体可靠性物理学半导体可靠性器件可靠性指产品的寿命特点、使用维修情况、完成任务的能力大小，是产品质量的重要指标之一。半导体器件的可靠性研究领域和任务半导体可靠性物理学的主要分支器件可靠性问题也是产品质量问题半导体可靠性制造过程半导体加工切割、封装设计晶片芯片使用过程…产品报废、失效筛选过程半导体器件可靠性问题失效分析半导体可靠性进行器件的失效分析半导体器件可靠性问题主要研究内容失效分析(failureanalysis)系指产品失效后，通过对产品及其结构、使用和技术文件的系统研究，从而鉴别失效模式、确定失效原因、机理和失效演变的过程。这一门技术就是失效分析。半导体可靠性研究内容主要包括两个层次半导体器件可靠性问题主要研究内容评价可靠性水平如何提高可靠性虽然器件可靠性研究首先是从评价可靠性水平开始的，但研究重点逐渐在转向如何提高可靠性方面。可靠性数学、可靠性实验可靠性评估失效分析、失效物理工艺监控、可靠性设计半导体可靠性失效分析的基本内容常见的失效模式即失效的形式最常见的有烧毁、管壳漏气、管腿腐蚀或断腿、芯片表面内涂树脂裂缝、芯片粘合不良