材料电子及中子分析技术第5章 透射电子显微镜的成像分析.pptxVIP

衬度理论及等厚与等倾条纹材料研究方法南京理工大学材料学院·朱和国

课程内容一衬度的概念与分类衍射衬度运动学理论与应用二

一、衬度的概念与分类所谓衬度是指两像点间的明暗差异，差异愈大，衬度就愈高，图像就愈明晰。电镜中的衬度（Contrast）可表为：式中I1、I2分别表示两像点的成像电子的强度。衬度－源于样品对入射电子的散射差异。注意：振幅和相位衬度对同一幅图像的形成均有贡献，只是其中一个占主导而已。衬度振幅衬度相位衬度－高分辨质厚衬度－非晶衍射衬度－晶体振幅相位

一、衬度的概念与分类高序数的原子对电子的散射能力强于低序数的原子，成像时电子被散射出光栏的几率就大，参与成像的电子强度就低，与其他处相比，该处的图像就暗；试样厚处、高密度处对电子的吸收相对较多，参与成像的电子就少，导致该处的图像就暗。非晶体主要是靠质厚衬度成像。电子被散射到光栏孔外的几率：1．质厚衬度试样中各处的原子种类不同或厚度、密度差异所造成的衬度用途：非晶体主要是靠质厚衬度成像注意：质厚衬度取决于：参与成像的电子强度的差异，而不是成像的电子强度。

一、衬度的概念与分类当晶体样品较薄时，可忽略电子波的振幅变化，让透射束和衍射束同时通过物镜光栏，由于试样中各处对入射电子的作用不同，致使它们在穿出试样时相位不一，再经相互干涉后便形成了反映晶格点阵和晶格结构的干涉条纹像，见图6-34，并可测定物质在原子尺度上的精确结构。这种主要由相位差所引起的强度差异称为相位衬度。用于晶格分辨率的测定和高分辨图像。2．相位衬度主要由相位差所引起的强度差异称为相位衬度图6-34相位衬度原理示意图

3．衍射衬度（a）明场像（b）暗场像（c）中心暗场图6-35衍射衬度产生原理图一、衬度的概念与分类由满足布拉格衍射条件的程度不同造成的衬度称为衍射衬度

一、衬度的概念与分类图6-35a：明场像衍射衬度为：明场像：挡住衍射束，让透射束成像的操作称为明场操作，所成的像称为明场像。图6-35b：暗场像衍射衬度为：物镜光栏仅让衍射束通过成像的操作称为暗场操作，得到所谓的暗场像。暗场像

一、衬度的概念与分类图6-35c：调整偏置线圈，使入射电子束倾斜2?B角，晶粒B中的晶面组完全满足衍射条件，产生强烈衍射，此时的衍射斑点移到了中心位置，衍射束与透镜的中心轴重合，孔径半角大大减小，所成像比暗场像更加清晰，成像质量得到明显改善。我们称这种成像操作为中心暗场操作，所成像为中心暗场像。三种操作均是通过移动物镜光栏来完成的，因此物镜光栏又称衬度光栏。注意：暗场或中心暗场成像时，均是衍射束进行成像，强度要低于透射束，但产生的衬度却比明场像高。中心暗场像图6-35c：

二、衍射衬度运动学理论与应用衍衬理论可分为运动学理论和动力学理论两种。当考虑衍射的动力学效应，即透射束与衍射束之间的相互作用和多重散射所引起的吸收效应时，衍衬理论称为动力学理论。当不考虑动力学效应时，衍衬理论称为运动学理论。1．基本假设衍衬运动学理论的两个基本假设：－假设依据：样品薄。1）衍射束与透射束之间无相互作用，无能量交换；2）不考虑电子束通过样品时的引起的多次反射和吸收。样品薄：1)当偏移矢量较大时，由强度分布曲线可知衍射束的强度远小于透射束的强度，可以忽略透射束与衍射束之间的能量交换。2)可以忽略电子束在样品中的多次反射和吸收。运动学理论还作了以下两个近似：

二、衍射衬度运动学理论与应用2）晶柱近似－一个晶柱相当于一个象素x入射束I0=IT+IgOzy透射束IT衍射束Igx,y,0x,y,t2?t晶柱近似是把单晶体看成是由一系列晶柱平行排列构成的散射体，各晶柱又由晶胞堆砌而成，晶柱贯穿晶体厚度，晶柱与晶柱之间不发生交互作用。图6-36晶体的双光束近似和晶柱近似1）双光束近似I0=IT+Ig，式中I0、IT、Ig分别表示入射束、透射束和衍射束的强度。通常设I0＝1，这样，IT+Ig=1，当算出Ig时，即可知道IT＝1-Ig。假设依据：偏离矢量。衍射束强度显著低于透射束。I0Ig1,IT1Ig2,IT2Ig3,IT3

二、衍射衬度运动学理论与应用2．理想晶体的衍射束强度图6-37理想晶体晶柱的衍射束强度

二、衍射衬度运动学理论与应用由费涅尔（Fresnel）衍射原理可得在衍射方向衍射波振幅的微分为：式中?g为衍射波的振幅；?为散射波的相位，消光距离是衍衬理论中的一个动力学概念表示精确，满足布拉格衍射条件时，由于晶柱中衍射波和透射波之间的相互作用，引起衍射强度（或透射强度）在晶柱深度方向上发生周期性的振荡，