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X射线光电子能谱分析实验报告

一实验目的

1了解X射线光电子能谱的产生原理；

2掌握X射线光电子能谱的定性分析和定量分析依据；

3了解X射线光电子能谱仪的基本结构；

4掌握X射线光电子能谱的谱图处理和分析过程。

二实验原理

1X射线光电子能谱的产生

固体表面分析业已发展为一种常用的仪器分析方法，特别是对于固体材料的分析和元素

化学价态分析。目前常用的表面成分分析方法有：X射线光电子能谱（XPS）,俄歇电子能

谱(AES)，静态二次离子质谱(SIMS)和离子散射谱(ISS)。AES分析主要应用于物理方面的固

体材料科学的研究，而XPS的应用面则广泛得多，更适合于化学领域的研究。SIMS和ISS

由于定量效果较差，在常规表面分析中的应用相对较少。但近年随着飞行时间质谱

（TOF-SIMS）的发展，使得质谱在表面分析上的应用也逐渐增加。下面主要介绍X射线光

电子能谱的实验方法。

X射线光电子能谱（XPS）也被称作化学分析用电子能谱（ESCA）。该方法是在六十

年代由瑞典科学家KaiSiegbahn教授发展起来的。由于在光电子能谱的理论和技术上的重大

贡献，1981年，KaiSiegbahn获得了诺贝尔物理奖。三十多年的来，X射线光电子能谱无论

在理论上和实验技术上都已获得了长足的发展。XPS已从刚开始主要用来对化学元素的定

性分析，业已发展为表面元素定性、半定量分析及元素化学价态分析的重要手段。XPS的

研究领域也不再局限于传统的化学分析，而扩展到现代迅猛发展的材料学科。目前该分析方

法在日常表面分析工作中的份额约50%，是一种最主要的表面分析工具。

在XPS谱仪技术发展方面也取得了巨大的进展。在X射线源上，已从原来的激发能固

定的射线源发展到利用同步辐射获得X射线能量单色化并连续可调的激发源；传统的固定

式X射线源也发展到电子束扫描金属靶所产生的可扫描式X射线源；X射线的束斑直径也

实现了微型化，最小的束斑直径已能达到6微米大小,使得XPS在微区分析上的应用得到

了大幅度的加强。图像XPS技术的发展，大大促进了XPS在新材料研究上的应用。在谱仪

的能量分析检测器方面，也从传统的单通道电子倍增器检测器发展到位置灵敏检测器和多通

道检测器，使得检测灵敏度获得了大幅度的提高。计算机系统的广泛采用，使得采样速度和

谱图的解析能力也有了很大的提高。

由于XPS具有很高的表面灵敏度，适合于有关涉及到表面元素定性和定量分析方面的

应用，同样也可以应用于元素化学价态的研究。此外，配合离子束剥离技术和变角XPS技

术，还可以进行薄膜材料的深度分析和界面分析。因此，XPS方法可广泛应用于化学化工，

材料，机械，电子材料等领域。

X射线光电子能谱基于光电离作用，当一束光子辐照到样品表面时，光子可以被样品中

某一元素的原子轨道上的电子所吸收，使得该电子脱离原子核的束缚，以一定的动能从原子

内部发射出来，变成自由的光电子，而原子本身则变成一个激发态的离子。在光电离过程

中，固体物质的结合能可以用下面的方程表示：

E=h-E-Φ

kvbs

式中：E——出射的光电子动能，ev;

k

h——X射线源光子的能量，ev;

v

E——特定原子轨道的结合能，ev;

b

Φ——谱仪的功函，ev。

s

谱仪的功函主要由谱仪材料和状态决定，对同一台谱仪基本是一个常数，与样品无关，

其平均值为3～4eV。在XPS分析中，由于采用的X射线激发源的能量较高，不仅可以激

发出原子价轨道中的价电子，还可以激发出芯能级上的内层轨道电子，其出射光电子的能量

仅与入射光子的能量及原子轨道结合能有关。因此，对于特定的单色激发源和特定的原子轨

道，其光电子的能量是特征的。当固定激发源能量时，其光电子的能量仅与元素的种类和所

电离激发的原子轨道有关。因此，我们可以根据光电子的结合能定性分析物质的元素种类。

在普通的XPS谱仪中，一般采用的MgKα和AlKαX射线作为激发源，光子的能量足够促

使除氢、氦