现代材料分析测试技术材料分析测试技术-1.ppt

本部分的主要目的：介绍透射电镜;主要要求：1)掌握透射电镜分析;1.1引言眼睛是人类认识;光学显微镜的分辨率由于;图1-1两个电光源成像时形成;通常把两个Airy斑中心间距等;有效放大倍数上式说明，光学透镜;如何提高显微镜的分辨率根据式（;根据德布罗意（deBrogl;如果电子速度较低，其质量和静止;加速电压/kV电子波波长/nm;电磁透镜电子波和光波不同，不能;图1-2是一个电磁线圈。当电子;短线圈磁场中的电子运动显示了电;此时线圈的磁力线都集中在壳内，;电磁线圈与极靴订憾回维磷磕孽亩;电磁透镜成像光学透镜成像时，物;按式（1-3）最佳的光学透镜分;一、球差球差是因为电磁透镜的中;式中Cs表示球差系数。通常，;NoFringeUn-cor;β-Si3Ｎ42nm2200F;二、像散像散是由透镜磁场的非旋;色差是由于成像电子（入射电子）;式中：Cc为色散系数，ΔE/E;衍射效应的分辨率和球差造成的分;景深电磁透镜的景深是指当;焦长焦长是指物点固定不变（物;2.电子与物质的交互作用;2.1散射定义：当一束聚焦电;图2-1入射电子与原子的;2.1.1原子核对电子的弹性;原子核的正电荷入射电子的能量瞄;2.1.2原子核对电子的非弹;2.1.3核外电子对入射电子;2.2高能电子与样品物质交互;因为二次电子产额δSE与入射电;咏证直建删寒悉西楔爪贾辙密陶色;**空间分辨率高;2.2.2背散射电子(BE;背散射电子的特点：*对样品物质;MgO+SrTiO3复相陶瓷的;背散射电子的强度还与试样中的晶;2.2.3透射电子（TE)如;吸收电子：当样品较厚时，一部分;自由载流子形成的伴生效应入射电;小结a)讨论了电子波的波长和电;思考题电子波的特征及其聚焦原理