一种新型超高真空冷压焊接钳的设计.docx

?

?

一种新型超高真空冷压焊接钳的设计

?

?

马法杰

摘要：冷压焊接技术是真空获得过程中真空封离的关键性环节，真空封离的成功与否直接决定着真空度的好坏，冷压钳又是真空封离的关键工具，所以冷压钳的可靠性直接决定着封离后真空可靠性，本文在目前冷压钳的发展基础上，设计了一款针对狭小空间，灵活操作，封离可靠的冷压钳。

Abstract：Thecoldpressweldingtechnologyisthekeylinkofvacuumsealingintheprocessofvacuumobtaining.Thesuccessofvacuumsealingdirectlydeterminesthevacuumdegree，thecoldpressclampisthekeytoolofvacuumsealing，sothereliabilityofthecoldpressclampdirectlydeterminesthereliabilityofvacuumaftersealing.Basedonthedevelopmentofthecoldpressclampatpresent，thispaperdesignsakindofreliablecoldpressclampthatcanbeflexiblyoperatedinanarrowspace.

关键词：冷压焊接;无氧铜管;超高真空

Keywords：coldpressurewelding;oxygenfreecoppertube;ultra-highvacuum

0?引言

在电真空器件的制造中，超高真空的获得是一切电真空器件稳定工作的前提，新鸿电子有限公司生产的多点分布式冷阴极X射线管，对真空度的要求更高，最终剪管真空度一般控制在1.0E-11torr（≈1.33E-9Pa），这样的真空度对封离工具提出了更高的要求，另外，X射线管设计紧凑，剪管空间有限，对封离工具的体积要求更小，压力更大，可靠性更高。

1?真空封离原理

在真空封离环节，通常选用一定塑性，可耐一定高温的材质，作为真空封离材料，电真空器件通常选用的是无氧铜排气管，无氧铜具有良好的导电率，加工性能、焊接性能、耐蚀性能和低温性能均好，一般情况下无氧铜排气管一端钎焊可伐环（用来连接真空腔体），一端钎焊CF法兰（用来排气连接），真空钎焊环境一般是在氢气环境中进行，无氧铜材质含氧量越低，越能最大可能的降低氢脆现象，避免漏气风险，通常会选用TU1无氧铜，即含氧量低于0.002%的无氧铜材质。

无氧铜管在冷压焊接的之前必须经过退火处理，退火处理可进一步软化铜材质，从而保证真空冷压焊接的真空可靠性。

在真空封离的过程中，冷压钳在无氧铜管外侧施加集中的载荷压力，通过材料的物理接触使待焊工件产生大的变形，在变形时，表面的氧化膜破裂，接头表面区域是挤压碎化的细晶结构，碎化的细晶结构在界面处相互咬合增加了相焊金属间物理接触面积，行成的碎化细晶之间晶间结合，从而形成了无氧铜结合面对接冷压焊接。

2?狭小空间冷压钳设计

新鸿电子有限公司设计生产的静态多点分布式冷阴极射线管体积小，结构紧凑，排气铜管口径大，给冷压钳预留的操作空间有限，故冷压钳的设计，特别是刀头的设计上要求体积小，集中压力大，可靠稳定。冷压钳一般由刀头，手动或电动泵，压力表组成，根据刀头形式可分为两种，一种是剪刀式，一种是平口式，根据压力控制方式可以分为手动式，电动式两种：

通常对于大口径铜管的剪切方式，一种是采用的剪刀式刀头如图1所示，液压剪刀头的头部是两个圆柱销，圆柱销在槽内可自由滚动，液压剪刀头结构通过油泵压力持续加大，将剪刀头压紧，圆柱销接触铜管后，通过持续集中的压力，从一开始的面接触至最后的线接触，通过圆柱面对铜管的挤压力，迫使铜管向挤压两侧发力，两个圆柱销接触即剪斷;另外一种是采用平口钳方式，如图2所示，平口钳刀口形状，这种冷压钳由于体积小，操作空间小，剪切力巨大，密封效果好。

3?平口钳方案设计

考虑到新鸿电子X射线管结构紧凑，铜管口径大（DN18mm），壁厚后（2-3mm），选择目前可靠性高的平口钳方案设计，冷压钳动力源采用手动液压泵，最高压力70MPa，所有密封件及油管部件耐压选用均超过100MPa，头部运动机构采用高压小油缸结构形式。

冷压钳刀头采用一动一静两片结构形式，刀片分为剪切区、剥离区、分离刃、冷焊区四个部分，刀头材质为Cr12MoV，加工完毕后经过高温淬火，刀头位置经过氮化处理，提高接触面硬度，通常刀刃硬度达到HRC60-62。

手动泵由泵体、手柄、储