光纤定位硅v型槽的设计和制作.pdfVIP

光纤定位硅v型槽的设计和制作--第1页

要

通过光纤把外部光源引入ｓｏＩ集成光路时，为减少偶然因素对耦

合效率的影响．需解决光纤定位问题，以及为提高多通道波导型器件、

半导体激光器阵列、光开关阵列等与圯纤的耦合效率问题，作者利用

单晶硅材料，设计并制作出具有高精度光纤定位功能的硅Ｖ型槽及其

阵列。

本文围绕硅Ｖ型槽的设计和制作．从理论上详细分析了单模光

纤与脊形波导的模式特点，得出最佳的耦合条件，在此基础上设计

出最合适的硅Ｖ型槽结构。在实践上．对制作工艺积极探索，提出

新的制备硅掩蔽膜的工艺方案，对影响光刻质量的因素深入分析，

试验摸索出适用于Ｖ型槽的各向异性湿法腐蚀的腐蚀液配方，独立

优化设计了制作硅Ｖ型槽的相关３－艺，制作出高质量的硅Ｖ型槽。

并展示了它广阔的应用前景和科研产。％的开发价值。

关键词：光纤定位，Ｖ型槽，掩蔽膜，各向是。缈蚀

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ＡＢＳＴＲＡＣＴ

Ｉｎｔｈｉｓｉｓｉｈｅａｎｄ

ｅｍｐｈａｓｉｓｄｅｓｉｇｎ

ｐｕｔ

ｐａｐｅｒ，ａｎｏｌｌ

ｍａｔｅｒｉａｌｉｓ

ｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎａｒｒａｙｓ．Ｔｈｅｗｅｕｓｅ

ｏｆ～一ｇｒｏｏｖｅ

Ｓｉｌｉｃｏｎｓｔｌｐｒｏｖｉｄｅ

ｕｃｔｕｒｅ

Ｖ—ｇｒｏｏｖｅ

ｍｏｎｏｃｒｙｓｔａｌｌｉｍ·ｓｉｌｉｃｏｎ．ｃａｎ

ｗｉｔｈｏｒｉｅｎｔａｔｉｏｎ．Ｓｏｔｈｅａｂｏｕｔｈｏｗ

ｆｉｂｅｒｈｉｇｈｐｒｅｃｉｓｉｏｎｐｒｏｂｌｅｍｓ

ｍａｋｅｉｎｔｏＳ０１ａｎｄｂｅｔｗｅｅｎｍｕｌｔｉｃｈａｎｎｅｌ

ｅｆｆｉｃｉｅｎｔｌｙ

ｔｏｌｉｇｈｔｃｏｕｐｌｉｎｇ

ａｎｄｆｉｂｅｒｓｂｅｓｏｌｖｅｄ．

ｄｅｖｉｃｅｓ

ｗａｖｅｇｕｉｄｅｃａｎ

Ｔｈｅｍｏｄｅｏｆｆｉｂｅｒａｎｄ

ｃｏｕｐｌｅｄｔｈｅｏｒ