MOCVD设备资料 国产mocvd设备.pdfVIP

MOCVD设备资料国产mocvd设备--第1页

MOCVD设备资料国产mocvd设备

德国AIXTRON公司（德国艾思强公司）和美国VEECO公司（美国维易科精密仪器有限公

司）两家公司几乎生产了全球90％以上的主流MOCVD设备。

1、生产效率和成本概况

国际上MOCVD技术已经相当成熟，主流设备从2003年6-8片机、2004年12片机、2005

年15片机、2006年的21-24片机，目前已经达到42、45、49片机（一次可装载49片2

英寸的衬底生长外延）。

外延炉容量的不断扩大让LED外延片生产商的单位生产成本快速大幅下降。目前，量产企

业对单批产能的最低要求是在30片以上。

国产设备目前为6片机，生产效率和生产成本差距甚远。

2、MOCVD价格及产值概况

生产型MOCVD设备的售价高达1000～2000万元【根据机型，6片机70万美元左右，9片

机100万美元左右】，加上相关配套设备设施，一条产线LED生产线需要投入4000多万元。

若新采购设备为45片机生产蓝光芯片，按3炉/天计算，年产4.9万片左右，收入4800万

元，投入产出基本为1:1。

3、生产过程工艺复杂，参数众多，优良率与均匀性是关键

外延片生长过程工艺复杂，参数众多，培养专业操作人员需时间较长。

一个最简单的GaN蓝光LED单量子阱结构，其生长工艺包括：高烘烤、缓冲层、重结晶、

n-GaN、阱层、叠层及p-GaN等，工艺步骤达几十步，每一步需调整的工艺参数共有20多

个，各参数之间存在比较微妙的关系，工艺编辑人员需根据工艺要求，对各个参数进行逐一

调整，必要时还要进行计算，如升速度、升压速度、生长速率控制、载气与气源配比等。如

何根据工艺需要自动对参数进行检查，减轻工艺人员的工作量，是值得研究的新兴课题。

每个外延芯片、生产批次与系统之间的关系，能确保良好的均匀性以及优良率，尤其在芯片

厂商扩产时，还能维持相同的优良率与均匀性就显的特别关键。

4、4英寸MOCVD设备将成为主流

现阶段台湾外延厂商在技术上已经具备生产4英寸和6英寸的能力，但是出于成本的考虑，

多数台湾厂家还是以2英寸的MOVCD设备为生产主线；大部分欧美与韩国厂商则早已使

用4英寸MOVCD设备。

市场预期一旦4英寸外延片材料成本大幅崩落（目前4英寸外延片的成本价格约为2寸外延

MOCVD设备资料国产mocvd设备--第1页

MOCVD设备资料国产mocvd设备--第2页

片的四倍），2英寸的MOCVD设备将逐渐被4英寸所取代。

AIXTRON与SemiLEDs在2009年5月就合作开发出6寸蓝光LED芯片，在6x6寸AIX

2800G4HTMOCVD反应炉的结构上，产量增加约30％（相较于传统42x2-inch的架构），

不但均匀性较好，也减少了边缘效应（edgeeffect）。不过就现阶段而言，大多数的困难仍然

在于6寸的基板价格偏高与外延片切割技术的挑战。

一、MOCVD设备市场情况

1、设备供应商概况

目前国际上主要的MOCVD设备供应商有两家：

①德国AIXTRON公司（德国艾思强公司）

根据GartnerDataquest最近的一份分析报告，2008年AIXTRON公司MOCVD复合半导体

设备的全球占有率达到72％。

目前，AIXTRON公司最先进的独特的行星转盘技术应用在大型G42800HT42*2”以及

ThomasSwan（1999年被AIXTRON收购）CCSCrius30*2