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真空退火温度对碳掺杂Ti-O薄膜结构和表面能的影响：结合热蒸镀
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真空退火温度对碳掺杂Ti-O薄膜结构和表面能的影响：结合热蒸镀
摘要
本文采用电阻式蒸发镀膜法制备纯钛薄膜，然后，将其置于CO2反应气氛中退火。通过调节退火温度，成功制备出系列碳掺杂Ti-O薄膜。通过X射线衍射（XRD）、拉曼光谱仪测定分析薄膜的晶体结构；采用XPS了解薄膜的化学组成元素和元素之间的化学键；采用接触角测量仪测定薄膜的接触角，并根据薄膜的接触角计算其表面能，从而获得薄膜亲疏水性能。结果表明，成功制备出了碳掺杂Ti-O薄膜，并且发现随着退火温度的提高，薄膜出现金红石相
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