压电式传感器原理及应用课件.pptVIP

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5.3压电式传感器压电式传感器的工作原理等效电路及信号变换电路压电式加速度传感器压电式测力传感器

5.3.1压电式传感器的工作原理ll正压电效应

l逆压电效应石英钛酸钡锆钛酸铅

1.石英晶体的压电效应

晶体切片l

切片上电荷的符号与受力方向的关系

石英晶体的压电效应

石英晶体优点:

2.压电陶瓷的压电效应l

陶瓷片极化自由电荷与陶瓷片内的束缚电荷符合相反而数值相等,它起着屏蔽和抵消陶瓷片内极化强度对外的作用,因此陶瓷片对外不表现极性。

压电陶瓷的正压电效应l放电现象充电现象放电电荷的多少与外力的大小成比例关系

常见压电陶瓷:(1)钛酸钡(BaTiO)压电陶瓷3(2)锆钛酸铅Pb(Zr·Ti)O系压电陶瓷(PZT)3(3)铌镁酸铅Pb(MgNb)O-PbTiO-PbZrO压电陶瓷(PMN)333

5.3.2等效电路及信号变换电路ll

1.压电元件的等效电路

压电式传感器的等效电路

两个压电片的联结方式(a)“并联”,Q’=2Q,U’=U,C’=2C(b)“串联”Q’=Q,U’=2U,C’=C/2

2.压电式传感器的信号调节电路压电式传感器要求负载电测量电路关键在高阻抗的前置放大器。前置放大器两个作用:

(1)电压放大器

传感器的低频响应范围ll

电压放大器应用限制ll

解决电缆问题的办法

l

(2)电荷放大器使用电荷放大器突出的一个优点

压电传感器与电荷放大器连接等效电路

几点结论:

5.3.3压电式加速度传感器

测量原理

5.3.4压电式测力传感器l变形方式l材料选择l晶片数目

单向压电式测力传感器l

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