1023S02020-等离子体基础-2023版人才培养方案教学大纲.docxVIP

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ADDINCNKISM.UserStyle《等离子体基础》课程教学大纲

（理论课程·2023版）

一、课程基本信息

课程号

1023S02020

开课单位

物理科学与技术学院

课程名称

（中文）等离子体基础

（英文）FoundationofPlasma?Physics

课程性质

选修

考核类型

考试

课程学分

2

课程学时

34

课程类别

专业发展课程（专业拓展课）

先修课程

普通物理

适用专业（类）

应用物理学

二、课程描述及目标

（一）课程简介

《等离子体基础》是本专业（类）的一门专业发展课程，课程的主要内容包括等离子体基本概念、等离子体在薄膜制备和半导体工艺领域的应用以及等离子体诊断技术。等离子体的应用研究在上个世纪八十年代得到迅速发展，现已广泛渗透到能源、材料、电子、航空航天、机械、冶金、化工等各学科领域。旨在通过本课程的理论教学，使学生掌握等离子体基础知识，了解等离子体的工业应用及其常见的诊断方法和技术，培养学生分析和解决实际问题的能力，为物理前沿、材料物理与器件等后续课程的学习奠定必要的理论基础。

（二）教学目标

通过本课程，学生将学会等离子体基础知识，掌握等离子体基本概念，具备等离子体诊断的理论知识。

课程目标1：掌握等离子体的基本概念、性质；

课程目标2：诊断等离子体参量和反应动力学；

课程目标3：查阅等离子相关文献，熟悉等离子体的研究进展；

课程目标4：解决等离子应用实际问题，为相关工作奠定理论基础。

三、课程目标对毕业要求的支撑关系

毕业要求指标点

课程目标

权重

1-1：专业知识：具有科学的世界观，较系统和完整地掌握物理学的基本理论、基本知识和基本技能以及所需的数学、计算机、电工电子学等方面的基础知识。对物理学相关专业方向前沿、发展动态、应用前景有所了解。

课程目标1

课程目标2

课程目标3

0.3

2-1：获取知识能力：具备获取自学能力、获取和加工处理信息的能力，具有一定的批判性思维能力。

课程目标1

课程目标2

课程目标3

课程目标4

0.2

2-2：应用知识能力：具有综合应用知识、解决问题的基本能力、实验和工程实践能力、计算机及信息技术应用能力。

课程目标2

课程目标3

课程目标4

0.2

2-4：组织管理能力：具有技术管理能力、较好的书面和表达能力、与人沟通协调能力和活动策划能力。

课程目标3

课程目标4

0.2

3-1：专业素质：具有科学思维方法、科学精神、创新意识，具有勇攀科学高峰的使命感，具有一定的技术创新和应用意识及工程技术素养。

课程目标3

课程目标4

0.1

四、教学方式与方法

以理论教学为主，以学生为中心，实施启发式教学。

1.采取提问题讨论的形式，引出所分析等离子体基本概念和理论，合理分配理论讲授和习题验证的教学时间，板书并结合多媒体演示技术。在教学中，充分发挥启发与归纳方法的作用，有效地创设问题情境和富有激励性的学习氛围，加深学生对相关理论内容和等离子体实际应用的理解，为学生留出思考、提问的时间，实现师生互动，促进自主研学。

2.在教学安排上，做到精讲等离子体基本概念与实际案例，与问题解答、章节讲评相结合，使学生了解重点、认识难点、剖析难点，提高学生解决等离子体问题的抽象思维能力；通过课堂提问、课后作业等途径，引导学生课前预习、课后复习与总结，巩固所学知识。

五、教学重点与难点

（一）教学重点

①等离子体的等离子体中的电子温度、密度、等离子体壳层等基本物理概念；②冷等离子体特性和离子体在材料加工、化工冶金等领域的应用技术和特点。

（二）教学难点

①等离子体在不同领域中的应用与等离子体基本特性之间的关系；②等离子体的微观参量及其内部组分粒子的时空分布、能量分布测量方法。

六、教学内容、基本要求与学时分配

序号

教学内容

基本要求

学时

教学

方式

对应课程目标

1

等离子体基础知识

了解等离子体物理学的发展及主要的研究领域，掌握等离子体的基本概念、参量和基本性质。

6

讲授

课程目标1

2

低压气体放电

低压气体放电是各类等离子体技术和工艺的基础，通过对几种气体放电等离子体产生方式的特性和物理过程学习，较系统地掌握低压气体放电等离子体产生的基本规律。

6

讲授

课程目标1

3

等离子体内的物化过程

使学生了解等离子体内存在的基本物理过程和化学反应过程，材料加工中。使学生了解在材料加工中冷等离子体内电子和各种组分粒子的特性及作用，理解电子、组分粒子和等离子体内固体表面的基本相互作用过程。

4

讲授

课程目标1

4

等离子体在薄膜制备中的应用

通过几种等离子体薄膜沉积技术的介绍，使学生了解气体放电等离子体技术在固体表面的涂层制备中的应用特点，同时了解其在新型光、电、声等功能器件的制备与开发等领域的应用。

6

讲授

课程目标3

课程目标4

5

等离