(完整版)微机械学中的纳米摩擦学-第二节续.pptVIP

2.2原子力显微镜（AtomicForceMicroscopy,AFM）AFM工作原理第二节实验测试仪器AFM的工作模式主要三种:接触模式（Contact），非接触模式（non-ontact），敲击模式(tapping)。这三种模式是根据探针与样品之间作用力的形式来分的，接触模式的作用力是斥力，非接触模式的作用力是引力，而敲击模式介于前两者之间，是一个杂化的概念。1.接触模式。探针与样品保持亲密接触，通过探针与样品之间的斥力来探测样品表面，力的大小在10-10～10-6N之间，其成像是通过位置灵敏光检测器（PSPD）以侦测偏移量，然后推算出来的。由于在扫描过程中，探针与样品接触，一是有可能会损坏某些脆弱的样品（如生物样品，聚合体等），二是探针可能被样品污染，此外，针尖与样品之间的粘着力很明显，导致空间分辨率降低。另外针尖与样品之间的作用力在10-10～10-6N之间，有些表面柔弱的样品无法承受这么大的力，就不能采用接触模式了。不过在较硬材料上通常会得到较佳的分辨率。YOURSITEHERELOGO微机械学中的纳米摩擦学第1节.绪论第2节.实验测试仪器第3节.微观摩擦研究第4节.微观磨损研究主要内容第5节.微观润滑研究2.1常用电子显微镜电子显微镜常用的有透射电镜（transmissionelectronmicroscope,TEM）和扫描电子显微镜（scanningelectronmicroscope,SEM）。电子显微镜发展的历史第二节实验测试仪器光学显微镜1878年阿贝-瑞利指出光学显微镜分辨本领受到光波衍射的限制,给出了显微镜分辨本领极限公式。显微镜分辨率最多也只能达到光波长的一半——自然光的平均波长为0.55μm,所以分辨率能达到0.275μm,最好的光学显微镜能把物体放大2000倍,这是细菌的量级。若想继续提高光学显微镜的分辨率,必须缩短光波的波长,唯一的办法是让光跑得更快——这显然不可能。2.1常用电子显微镜电子显微镜常用的有透射电镜（transmissionelectronmicroscope,TEM）和扫描电子显微镜（scanningelectronmicroscope,SEM）。电子显微镜发展的历史第二节实验测试仪器最早的电镜1924年，32岁的德布罗意证明了电子也和光子一样具有波动性，而且令人惊喜的是其波长本身就比光子短。对显微镜最有意义的贡献是:它提供了理论依据，说明电子能像光子一样做显微镜的“光源”；利用德布罗意公式可以算出，电子的速度能被电场加到特别大时，其波长能缩小到光子波长的1/100000。1933年，德国科学家卢斯卡制作了最早的电镜，电子在1米多高的金属柱中加速，继而被汇聚在一些小网格样品上，将小格放大了14.4倍。这标志人类首次以电代光“照”出了物体的影像。2.1常用电子显微镜透射电镜工作原理第二节实验测试仪器（a）透射电子显微镜（b）光学显微镜成像原理与光学显微镜类似。透射电子显微镜是以波长极短的电子束作为照明源,用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨本领、高放大倍数的电子光学仪器。它由电子光学系统（镜筒）、电源和控制系统、真空系统三部分组成。2.1常用电子显微镜透射电镜优点第二节实验测试仪器透射电子显微镜1.信息采集范围小。现在最先进的TEM已经可以对小于0.1纳米的区域进行拍照和分析。在各种科学仪器中，只有扫描探针显微镜能达到这样的分析尺度。但是二者不能相互替代，扫描探针显微镜研究范围只局限于表面，TEM得到的信息来自样品的三维结构。2.分辨率高。最好的TEM分辨率已达到0.1nm。3.工作模式多样。透射电子显微镜不仅仅具有通常显微镜的放大作用。它还可以作为一台电子衍射仪提供样品的结构信息。配合各种信号探测器，它又能对样品做化学成分或者磁、电性能的分析。并且这些功能之间的转换非常方便，甚至可以同时进行。2.1常用电子显微镜透射电镜缺点第二节实验测试仪器1.破坏性样品制备。TEM需要很薄的样品使电子束能够穿过。对于大多数材料，要求在100微米以下。制样的问题，其技术难度很大，观察点的定位很难。2.低采样率。由于TEM的观察范围很小（几个微米），而且样品很薄（小于100nm），实验测试到的样品区域只占整体材料的极小一部分。这个微小的区域未必能真实反映材料的性质。3.是分析周期长，一般商业分析服务周期为一星