微电子工艺超详细重点总结.pdfVIP

微电子工艺超详细重点总结--第1页

晶体管的发明：当代半导体产业伴随着年12月16日在贝尔电话实验室固态晶体管的

发明而诞生，发明者是威廉·肖克利、约翰·巴丁和沃尔特·布拉顿。

集成电路（IC）的发明：由仙童半导体公司的罗伯特·诺伊思和德州仪器公司的杰克·基

尔比于1959年分别独自发明。

电路集成半导体产业周期每个芯片元件数

没有集成（分离元件）1960年之前1

小规模集成电路（SSI）20世纪60年代前期2至50

中规模集成电路（MSI）20世纪60年代到70年代前期20至5000

大规模集成电路（LSI）20世纪70年代前期到70年代后期5000至100000

超大规模集成电路（VISI）20世纪7