XPS原理及分析课件.pptVIP

2021/3/10*俄歇线OKLL、CKLLKLL:左边代表起始空穴的电子层,中间代表填补起始空穴的电子所属的电子层,右边代表发射俄歇电子的电子层2021/3/10*C.XPS卫星线用来照射样品的单色x射线并非单色，常规Al/MgKa1,2射线里混杂Ka3,4,5,6和Kb射线，它们分别是阳极材料原子中的L2和L3能级上的6个状态不同的电子和M能级的电子跃迁到K层上产生的荧光x射线效应。这些射线统称XPS卫星线。MgKa射线的卫星峰2021/3/10*x射线卫星线AlKa、MgKa卫星峰离主光电子峰的位移和相对强度射线名称Ka1,2Ka3Ka4Ka5Ka6KbMg靶高动能端位移0eV8.4eV10.2eV17.5eV20.0eV48.5eV相对强度1009.25.10.80.52.0Al靶高动能端位移0eV9.8eV11.8eV20.1eV23.4eV69.7eV相对强度1007.83.30.420.282.02021/3/10*D.能量损失线光电子能量损失谱线是由于光电子在穿过样品表面时发生非弹性碰撞，能量损失后在谱图上出现的伴峰特征能量损失的大小与样品有关；能量损失峰的强度取决于：样品特性、穿过样品的电子动能2021/3/10*能量损失线二氧化硅中O1s的能量损失峰Al的2s的能量损失峰a:清洁表面；b:氧化表面2021/3/10*E、电子的振激（Shakeup）线和振离线（Shakeoff）在光电发射中，由于内壳层形成空位，原子中心电位发生突变引起价壳层电子的跃迁，出现两个结果:若价壳层电子跃迁到更高能级的束缚态称为电子的振激若价壳层电子跃迁到非束缚的连续状态成了自由电子，则称为电子的振离。振激过程2021/3/10*电子的振激（Shakeup）线和振离线（Shakeoff）Cu、CuO和Cu2O的结合能差距不大,鉴别困难。Cu和Cu2O没有2p3/2谱线的振激峰；而CuO则有。2021/3/10*F、鬼线XPS中出现的难以解释的光电子线来源:阳极材料不纯，有部分x射线来自杂质微量元素；窗口出来-铝箔2021/3/10*X射线光电子能谱分析2021/3/10*一、概述X射线光电子谱是重要的表面分析技术之一。它不仅能探测表面的化学组成,而且可以确定各元素的化学状态,因此,在化学、材料科学及表面科学中得以广泛地应用。X射线光电子能谱是瑞典Uppsala大学K.Siegbahn及其同事经过近20年的潜心研究而建立的一种分析方法。他们发现了内层电子结合能的位移现象,解决了电子能量分析等技术问题,测定了元素周期表中各元素轨道结合能,并成功地应用于许多实际的化学体系,K.Siegbahn因此获1981诺贝尔奖。2021/3/10*二、X射线光电子能谱分析的基本原理电子能谱分析是一种研究物质表层元素组成与离子状态的表面分析技术,其基本原理是用单色射线照射样品,使样品中原子或分子的电子受激发射,然后测量这些电子的能量分布。通过与已知元素的原子或离子的不同壳层的电子的能量相比较,就可确定未知样品表层中原子或离子的组成和状态。2021/3/10*1.光电效应当一束能量为hν的单色光与原子发生相互作用，而入射光量子的能量大于原子某一能级电子的结合能时，发生电离：M+hν=M*++e-光电效应过程同时满足能量守恒和动量守恒，入射光子和光电子的动量之间的差额是由原子的反冲来补偿的。光电效应的几率随着电子同原子核结合的加紧而很快的增加，所以只要光子的能量足够大，被激发的总是内层电子。外层电子的光电效应几率就会很小，特别是价带，对于入射光来说几乎是“透明”的。2021/3/10*光电子发射示意图光电子动能:Ek=hμ-Eb-Φsp （Φsp是功函数）2021/3/10*光电效应截面s衡量原子中各能级发射光电子的几率s为某能级的电子对入射光子有效能量转换面积,也可表示为一定能量的光子与原子作用时从某个能级激发出一个电子的几率。s与电子所在壳层的平均半径r、入射光子频率n和原子序数Z等因素有关。在入射光子能量一定的条件下,同一原子中半径越小的壳层s越大；电子结合能与入射光子能量越接近s越大。对不同原子同一壳层的电子,原子序数越大,光电效应截面s越大。光电效应截面s与原子序数Z的关系Z345