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基于GRA微细铣削单晶硅工艺参数优化及试验研究.pdf

基于GRA微细铣削单晶硅工艺参数优化及试验研究.pdf

    ２０２４年７月Ｊｕｌ２０２４

    第５２卷第１４期Ｖｏｌ５２Ｎｏ１４

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    ＤＯＩ：１０．３９６９／ｊｉｓｓｎ１００１３８８１２０２４１４０１０

    文献引用：朱译文，曹自洋，徐文杰，等．基于ＧＲＡ微细铣削单晶硅工艺参数优化及试验研究［Ｊ］．机床与液压，２０２４，５２

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    （１４）：５９６４．

    Ｃｉｔｅａｓ：ＺＨＵＹｉｗｅｎ，ＣＡＯＺｉｙａｎｇ，ＸＵＷｅｎｊｉｅ，ｅｔａｌ．Ｓｔｕｄｙｏｎｐｒｏｃｅｓｓｐａｒａｍｅｔｅｒｏｐｔｉｍｉｚａｔｉｏｎａｎｄｔｅｓｔｏｆｍｏｎｏｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅｓｉｌｉｃｏｎｂａｓｅｄ

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