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芯片生产厂房微振动控制工程技术规范（征求意见稿）.docx

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    1总则 1

    2术语和符号 2

    2.1术语 2

    2.2符号 2

    3基本规定 4

    4厂区选址与规划 5

    4.1厂区选址 5

    4.2厂区规划 6

    5微振动控制标准 7

    6微振动测试与评估 10

    6.1一般规定 10

    6.2场地测试与评估 11

    6.3竣工测试与评估 12

    6.4空态测试与评估 13

    6.5动态测试与评估 13

    7微振动控制设计 14

    7.1一般规定 14

    7.2建筑结构 14

    7.3动力设备和

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