1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内外标准规范

半导体行业用水标准.pdf

半导体行业用水标准.pdf

    分享高质量文档

    精品

    电子行业水质标准

    1.电子工业与超纯水

    在半导体制作工艺中，80%以上的工序要经过化学处理，而每一道化学处理

    都离不开超纯水；在硅片的处理工序中，一半以上的工序经过超纯水清洗后便直

    接进入高温处理过程，此时如水中含有杂质便会进入硅片，造成器件性能下降成

    品率低。

    电子工业提出的超纯水电阻率≥18MΩ.cm(25℃),已极其接近理论

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >