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[19]中华人民共和国国家知识产权局[51]Int.CI
C25F3/16
[12]发明专利申请公开说明书
[21]申请号3
[43]公开日2004年10月6日[11]公开号CN1534113A
[22]申请日2003.04.01[74]专利代理机构北京银龙知识产权代理有限公司
代理人徐川
[21]申请号3
[71]申请人环宇真空科技股份有限公司
地址中国台湾
[72]发明人赖泰锽
权利要求书2页说明书6页附图4页
[54]发明名称
钛及钛合金制品的等离子体抛光方法
[57]摘要
本发明提供了一种利用等离子体抛光钛及钛合
金制品的方法，本发明是将钛及钛合金制品的待抛
+
光物置入含有铵离子(NH)为基础的电解液中，再
4
通过直流电压的输出，使得正极待抛光物周围的电
解溶液因高电位差而瞬间蒸发产生气泡袋(Airgap)，
此连续性的气泡袋会在被抛光物表面产生包覆气膜，
气膜中间的蒸发粒子因高电压解离而产生放电等离
子体，并通过放电等离子体把待抛光物表面上的突
起部分击平，使其产生如镜面般的平面，从而完成
抛光的目的。3权利要求书第1/2页
1.一种用于钛及钛合金制品的等离子体抛光方法，其特征为至少包
含下列步骤：
+
(a)配制含有铵离子(NH)的电解液；
4
(b)将该电解液的温度维持在60～98℃的范围内；
(c)将待抛光物浸入该电解液中；
(d)对该待抛光物施加210～420V的直流正电压以产生放电等离子
体进行抛光；以及
(e)抛光完成后，取出已抛光的成品。
2.如权利要求1所述的用于钛及钛合金制品的等离子体抛光方法，
其特征为：该含有铵离子的电解液浓度为1-15％。
3.如权利要求1所述的用于钛及钛合金制品的等离子体抛光方法，
其特征为：该含有铵离子的电解液包含氯化铵溶液。
4.如权利要求1所述的用于钛及钛合金制品的等离子体抛光方法，
其特征为：该含有铵离子的电解液包含氟化铵溶液。
5.如权利要求1所述的用于钛及钛合金制品的等离子体抛光方法，
其特征为：该含有铵离子的电解液包含硫酸铵溶液。
6.如权利要求1所述的用于钛及钛合金制品的等离子体抛光方法，
其特征为：该含有铵离子的电解液为1～8％氯化铵溶液。
7.如权利要求6所述的用于钛及钛合金制品的等离子体抛光方法，
其特征为：该电解液的温度维持在70～98℃的范围内。
8.如权利要求6所述的用于钛及钛合金制品的电抛光方法，其特征
为：对该待抛光物所施加的直流正电压为280～380V。
9.如权利要求7所述的用于钛及钛合金制品的等离子体抛光方法，
其特征为：对该待抛光物所施加的直流正电压为280～380V。
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