2024年工艺实验报告.docVIP

贵州大学

实验报告

課程

課程微电子工艺

院系理学院

专业班级微电子学与固体电子学

学生姓名刘晓志

学生学号020935

指导教师杨发顺老师

微电子工艺试验汇报

试验課程名称：微电子工艺

试验曰期：7月14曰——17曰

姓名：刘晓志学号：020959同组人：李嘉辉，徐舒晓

院系：理学院专业：微电子学与固体电子学

指导老师：杨发顺老师试验地点：微电子工艺试验室

一、试验项目名称：硅二极管

二、试验目的：

根据所学习的半导体物理与器件的知识，可以制作出晶体硅二极管，并对测量的反向特性和正向特性进行分析。

三、试验重要仪器设备、器材、药物

序号

重要设备、药物名称

序号

重要设备、药物名称

1

N衬底硅片

11

氧化炉

2

扩散炉

12

石英烧杯

3

匀胶机

13

量筒

4

光刻机

14

显影液，定影液

5

烘箱

15

过氧化氢

6

三探针测试台

16

氨水