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电子工业洁净厂房净化空调系统设计

摘要：近年来，国内大力支持和发展半导体技术，而半导体产品生产所需要

的洁净厂房在国内同步地得到发展，洁净厂房兴建的规模和室内的洁净等级越来

越高，而一些生产制造设备在工艺制程中，不可避免地产生污浊的空气或者废气

的排放，在排放废气的同时，为了维持洁净厂房的正压环境，则需要向厂房内不

断输送新鲜的室外空气，用以弥补因废气排放导致的洁净厂房正压失衡。

关键词：电子工业；洁净厂房；净化空调；系统设计

1溶液空调系统与传统空调的对比

溶液空调与水冷式、风冷式传统空调相比，其优点尤为明显。从系统构成来

看，传统空调需要设置的设备较为复杂，如水冷式空调包括冷水机组、冷却水系

统、冷冻水系统、蒸汽锅炉净化空调箱等；风冷式空调系统由风冷热泵、冷冻水

系统、净化空调箱和排风机组成，这两种传统空调在运行管理中不够灵活，对分

区控制的实现十分不利。溶液空调机组自带热泵系统，在独立运行中可以实现冷

却、除湿、加热、加湿等功能，对分区控制、独立启停等运行管理十分有利，并

能达到很好的节能效果。同时，传统空调除湿效果不佳，其原理主要为冷凝除湿，

除湿后相对湿度达90%～95%，不能满足实验动物环境对空调系统所需送风相对湿

度的要求，需要电或蒸汽加热对冷凝除湿，再热则会因冷热抵消使空调能耗加大。

溶液空调则是利用溶液特性，通过调节溶液浓度来控制相对湿度，符合实验动物

环境要求，并能避免系统过度冷却后再热的能源消耗。此外，传统空调系统如用

在实验动物室采用全新风系统会增加交叉污染的风险，通常不设置全热回收装置，

因此会产生巨大的新风能耗；溶液空调系统新风和排风不是直接接触，溶液具有

杀菌功能，可设置全热回收能量，避免交叉污染，使新风处理能耗大大降低。在

最初投资和运行成本上，传统空调投资成本较低，运行成本较高；溶液空调在最

初投资上会有较高成本，但由于其运行成本低，一般可在三年后收回成本。

2洁净厂房正压控制

在厂房内，洁净环境与非洁净环境之间必须维持一定的正压值，相邻的不同

级别的洁净厂房之间也需要维持一定的正压梯度，设计规范中明确规定，相邻的

洁净区与非洁净区，以及级别不同的洁净厂房压差数值不小于5Pa，同样洁净区

与室外环境的压差数值也不应小于10Pa。显然，洁净环境的正压值应控制在合理

的设计范围内，如果正压过大，新风系统需要提供的新风量就会配置过大，导致

新风负荷增大，产生能源的浪费，并且在新风机组长期的运行中，空气过滤器会

加剧寿命缩短周期；相反地，如果正压值设计过小，洁净厂房的正压环境很容易

被破坏，室内的洁净等级容易受到影响。引入的新风量较大时，可采用泄压阀根

据设置的正压数值进行自动泄压，也可以根据工艺生产的需要进行新风机转速的

调节控制或者设置备用值班机组。

3概况

位于某市的某Ｇ４．５代ＡＭＯＬＥＤ电子洁净厂房，主要建筑物包括主厂

房、动力站、特气站、废水站、化学品库、办公楼、门卫房等。其中，主厂房内

根据工艺布局，分为阵列、蒸镀、模组及ＭＡＳＫ清洗等生产工艺所在的核心区

２

以及南、北侧辅房所在的支持区，总占地面积约３０２５１．２ｍ，建筑面积

２

约７６５０３．２ｍ。核心区分为下夹层、生产工艺层、上静压箱层共计３层，

下夹层层高６．３５ｍ，生产工艺层高度６．０ｍ，上静压箱层高度４．５ｍ，

２

生产工艺层总面积约２２５００ｍ。支持区分为２层，一层层高６．３５ｍ，

二层层高１０．５ｍ。暖通专业设计范围主要包括：主厂房核心区的净化空调系

统及工艺废气处理系统，主厂房核心区、支持区、办公楼的防／排烟系统，支持

区、办公楼空调／通风系统，特气站、化学品库的事故通风系统等。

4净化空调系统控制

4.1洁净区（除ＭＡＳＫ清洗区）空调系统控制

采集新风出风管内露点温度信号控制新风机组回水管上的电动两通阀，同时

采集室内湿度信号整定露点温度的设定值，用以控制房间湿度。新风机组温、湿

度控制主要包括以下４点：

１）当室外新风露点温度ｔ≥１３．５℃（可调）时，关闭一级加热段的

ｄｐ

电动调节阀，开启并调节一级、二级表冷段的电动调节阀，使一级表冷段出风干

球温度ｔ＝２０．０℃，使二级表冷段出风露点