MEMS加速度计专题知识课件.pptxVIP

MEMS加速度计;Slide2;Slide3;一、MEMS加速度计工作原理;二、MEMS加速度计的类型;压阻式微加速度计;Slide7;电容式微加速度计;Slide9;扭摆式微加速度计;隧道式微加速度计;Slide12;三、MEMS加速度计应用;MEMS传感器在汽车产业中的应;MEMS传感器在汽车产业中的应;1．7节气门位置传感器;2．4高温微电子在汽车中的应;MEMS运动传感器在移动电话;光标或游戏机控制;导航;磁盘驱动器保护;MEMS加速度计在鼠标的应用;四、MEMS加速度计的研究难题;五、MEMS加速度计的发展趋势;五、MEMS加速度计的发展趋势;Slide26