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《平板显示器基板玻璃测试方法第3部分:热学性能》
编制说明
(征求意见稿)
目录
一、工作简况 1
1.1任务来源 1
1.2主要工作过程 2
二、编制原则及主要内容的说明 2
2.1编制原则 2
2.2主要内容说明 3
2.2.1标准范围 3
2.2.2术语和定义 3
2.2.3试验设备 3
2.2.3.1退火点、应变点试验设备 3
2.2.3.2软化点试验设备 3
2.2.3.3平均线热膨胀系数试验设备 3
2.2.3.4导热系数试验设备 4
2.2.3.5再热线收缩率试验设备 4
2.2.3.6比热容试验设备 4
2.2.4试样要求 4
2.2.4.1退火点、应变点试样 4
2.2.4.2软化点试样 5
2.2.4.3平均线热膨胀系数试样 5
2.2.4.4导热系数试样 6
2.2.4.5再热线收缩率试样 6
2.2.4.6比热容试样 7
2.2.5试验步骤 7
2.2.5.1退火点、应变点试验步骤 7
2.2.5.2软化点试验步骤 8
2.2.5.3平均线热膨胀系数试验步骤 10
2.2.5.4导热系数试验步骤 14
2.2.5.5再热线收缩率试验步骤 16
2.2.5.6比热容试验步骤 18
2.2.6试验报告 26
三、采用国际先进标准的情况 26
四、与国内有关现行法律、法规和强制性标准的关系 26
五、重大分歧意见的处理经过和依据 26
六、标准实施的意义 26
1
《平板显示器基板玻璃测试方法第3部分:
热学性能》编制说明
一、工作简况
1.1任务来源
根据国标委发[2023]58号《国家标准化管理委员会关于下达2023年第三批推荐性国家标准计划及相关标准外文版计划的通知》,《平板显示器基板玻璃测试方法第3部分:热学性能》被列入2023年国家标准制修订计划,项目编号T-469。由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)归口,由东旭集团有限公司、中国电子技术标准化研究院等单位负责制定。
平板显示器基板玻璃是半导体显示产业的重要战略材料,基板玻璃质量与面板成品的分辨率、亮度、厚度、色偏等指标密切相关,被誉为玻璃制造行业皇冠上的明珠。基板玻璃随着半导体显示行业的发展而不断升级迭代,半导体显示产业已经从传统的A-SiLCD/LTPSLCD技术路线升级到显示性能更好的LTPSOLED/LTPOOLED技术路线,其中大尺寸TV/monitor等终端应用领域目前主要采用高世代G8.5+/G10.5A-SiLCD面板工厂生产,中小尺寸手机、NB、PAD、车载及AR/VR等高分辨率、高显示性能的消费电子产品已经转向OLED面板工厂及LTPSLCD面板工厂生产,显示产业的技术升级及产品结构转型对基板玻璃的产品性能提出了更高的要求。
不同技术路线的面板制造工艺对应各自不同的制程温度及光罩道数,基板玻璃需要经受面板制程工艺中十几道甚至几十道升降温的严苛工艺制程,传统A-SiLCD面板的最高制程工序温度约为280℃左右,高性能的LTPSLCD及OLED面板因涉及A-Si(非晶硅)经过高温镭射转P-Si(多晶硅)的制程,最高工艺制程温度可接近600℃,随着显示产业由传统的A-SiLCD朝着更高分辨率、更卓越显示效果的LTPSLCD及OLED面板发展,对基板玻璃耐高温特性、热收缩率、热形变量及机械强度提出了更高的要求。
基板玻璃的热学性能对于基板玻璃在显示面板应用中的性能和质量非常重要。较高的应变点可以确保基板玻璃在高温处理时保持尺寸稳定,避免变形;合适的软化点有助于在制造过程中的加工和成型;而退火点则关系到基板玻璃经过退火处理后,内部应力的消除情况,从而提高基板玻璃的平整度和稳定性,保证其在
2
后续使用过程中的可靠性;较低的平均线热膨胀系数和再热线收缩率可以保证基板玻璃在高温制程过程中及高温制程结束后的形变量较小,提高了高温制程产品的良率;合适的导热系数和比热容也是影响基板玻璃在高温制程中特性的重要因素。不同类型的玻璃基板可能具有不同的热学性能,具体数值会根据其成分和制造工艺而有所差异。基板玻璃的热学性能是玻璃在高温制程中的关键参考指标,做好热学性能的监控检测对于基板玻璃的性能评价具有重要意义。
1.2主要工作过程
1.2.1起草阶段
2023年12月,国家标准化管理委员会下达了制定《平板显示器基板玻璃测试方法第3部分:
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