《GBT 42706.5-2023电子元器件 半导体器件长期贮存 第5部分：芯片和晶圆》最新解读.pptx

《GB/T42706.5-2023电子元器件半导体器件长期贮存第5部分：芯片和晶圆》最新解读;目录;目录;目录;目录;目录;目录;PART;芯片与晶圆长期贮存的重要性;;PART;标准范围与目的：;提供了含有芯片或晶圆的通用和专用封装产品的操作指导。;GB/T42706.5-2023标准核心内容解读;GB/T42706.5-2023标准核心内容解读;;提到了等离子清洗技术在清洁芯片和晶圆表面的应用，以及静电影响和辐照防护的重要性。;GB/T42706.5-2023标准核心内容解读;;;PART;长期贮存对半导体产业的影响;;PART;;;;芯片与晶圆贮存环境的关键因素;;PART;;;筛选标准：;标识与追溯

对筛选后的产品进行标识，记录其质量等级、生产日期、批次号等信息，以便于后续的追溯和管理。;;PART;;晶圆贮存中的机械防护策略;;稳固固定晶圆

在包装内部采用合适的固定方式，确保晶圆在运输过程中不会因晃动而受损。;;晶圆贮存中的机械防护策略;PART;;;;防震防压包装

采用防震防压材料进行包装，避免运输和贮存过程中因震动和挤压造成的损伤。;;;;特殊贮存要求：;PART;湿度对芯片贮存寿命的影响分析;在高湿度环境下存储的湿敏器件，在经受高温热处理（如回流焊、波峰焊等）时，器件内部的潮气会气化并膨胀，导致器件膨胀甚至爆裂。这种“爆米花”效应会严重损坏芯片，使其无法正常工作。;PART;氧气含量对晶圆贮存稳定性的作用;影响晶体质量

过高的氧含量会导致晶体中的氧杂质增多，影响晶体的完整性和均匀性，可能导致晶体缺陷增多，降低半导体器件的可靠性和寿命。;氧气含量对晶圆贮存稳定性的作用;氧气含量对晶圆贮存稳定性的作用;;采用高纯硅材料;PART;;静电防护的具体措施：;;;建立静电防护管理制度

明确静电防护的责任人、操作流程、监测要求等，确保静电防护工作的规范化和制度化。;静电防护在芯片贮存中的实践应用;PART;;贮存容器的选择与使用指南;;;静电防护;PART;;;;工作人员需接受专业培训，了解洁净室管理规定和操作规范。;晶圆贮存中的污染控制方法;;晶圆贮存中的污染控制方法;;定期对晶圆表面进行清洗和检测，确保表面洁净度符合要求。;;晶圆贮存中的污染控制方法;;PART;;PART;长期贮存失效机理及预防措施;长期贮存???效机理及预防措施;长期贮存失效机理及预防措施;;温度波动：;;PART;;;国内外芯片贮存标准的对比分析;国内标准还强调了可降解材料的使用，体现了对环保的关注。;;国内外芯片贮存标准的对比分析;;PART;晶圆贮存技术的最新发展趋势;;PART;贮存环境对芯片性能的影响案例;静电对芯片内部电路的损伤

静电放电产生的瞬时高电压可能击穿芯片内部脆弱的绝缘层，导致电路失效。某生产线在静电防护措施不到位的情况下，芯片在转运过程中频繁发生静电放电事件，导致成品率显著下降。;PART;;风险管理

通过贮存减少供应链中断风险，避免紧急采购高价元件，平衡成本与风险。;;芯片与晶圆贮存的经济性分析;;;;PART;;;提高晶圆贮存效率的管理策略;;;采用惰性气体保护等措施，进一步降低晶圆被氧化的风险。;提高晶圆贮存效率的管理策略;提高晶圆贮存效率的管理策略;;PART;;;;避免化学污染

确保贮存环境远离有害化学物质，以防止化学污染对芯片材料造成损害。;芯片贮存中的安全防护措施;芯片贮存中的安全防护措施;;牺牲性包装材料

使用可降解或易去除的包装材料，以便在需要时轻松取出芯片而不损坏其表面。;;PART;;晶圆长期贮存的挑战与解决方案;;;;;晶圆长期贮存的挑战与解决方案;晶圆长期贮存的挑战与解决方案;;PART;贮存过程中的数据记录与追溯要求;数据备份与存档

为防止数据丢失，所有贮存过程中的数据记录均需进行备份，并存档于安全可靠的介质中。同时，应建立数据访问权限管理制度，确保数据的安全性和保密性。;PART;;;芯片与晶圆贮存的最佳实践分享;;;;;PART;贮存环境监控系统的设计与实施;洁净度监控

通过空气过滤器保持贮存环境的高洁净度，减少尘埃颗粒对芯片和晶圆表面的污染。;;贮存环境监控系统的设计与实施;贮存环境监控系统的设计与实施;;PART;晶圆贮存中的应急处理流程;定期检查晶圆外观，识别可能的机械损伤或化学污染迹象。;;晶圆贮存中的应急处理流程;;晶圆出现机械损伤或化学污染时，根据损伤程度采取相应的修复或废弃措施，并记录详细情况以备后续分析。;;PART;;物理性能;;局限性

对温度、湿度等环境因素的抵抗力较弱，需配合适当的贮存条件。;芯片长期贮存的包装材料选择;成本考虑

材料和制造成本较高，通常用于高可靠性应用。;;芯片长期贮存的包装材料选择;;PART;;;湿度敏感芯片的贮存技巧;湿度敏