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题目：化学溶液沉积法制备热敏薄膜的设计与分析
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摘要
以Mn,Co,Ni为主的尖晶石过渡族金属氧化物(AB2O4)是一种具有负温度系数的热敏材料。它具有较高的温度电阻，耐老化性能好，工作温度范围宽，光谱的响应范围广以及能够长期稳定工作等优点；被广泛应用于温度测量计，辐射热测量计和非致冷型红外探测仪等精确测量仪器上。本文以化学溶液沉积法为主要手段，对Mn-Co-Ni-O系薄膜的制备工艺进行了摸索，并对所制备的Mn-Co-Ni-O系薄膜的物相结构，光学性能以及它们之间的联系进行了研究。
本文通过深化学习理解化学溶液沉积法制备薄膜
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