SQDL平台多源炉电子束蒸发操作规程（SOP）_2.pdf

1、本文档共1页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。

电子束蒸发系统ElectronBeamEvaporationSystem

一、镀膜准备

记录仪器真空度，做好使用登记。

开腔OVERVIEW→AUTO（绿色亮起）→AUTOVENT

卸下衬底托架，此时需要轻轻拧松螺丝（勿拧下螺丝），三枚螺丝整体拧松后，旋动托架并

取出。放置或固定衬底于托架，拧紧托架螺丝（整体拧紧，不建议将单个螺丝直接拧紧，以

免六寸托架内衬底因倾斜而错位）。

转换坩埚OVERVIEW→MANUAL（绿色亮起）→Navigate→E-BEAM→

教师资格证持证人

24小时提供说明书查找服务。

咨询Ta 进入空间

领域认证该用户于2023年12月02日上传了教师资格证

更多 >