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激光诱导晶化非晶硅薄膜
激光诱导晶化非晶硅薄膜
外表形貌与光电性能研究
外表形貌与光电性能研究
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课题研究的背景和意义
课题研究的背景和意义
•玻璃衬底ITO上低本钱制备低温多晶硅LTPS
•等离子增强气相沉积PECVD制备非晶硅薄膜
•准分子激光晶化ELC非晶硅a-Si薄膜为多晶
硅poly-Si薄膜
•制备有源显示器件AMLCD和AMOLED的薄
膜晶体管TFT沟道
•通过激光晶化非晶硅薄膜制备具有多晶硅光
学薄膜层结构的太阳能电池
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课题研究的现状及开展趋势
课题研究的现状及开展趋势
•2021年S.R.P.Silva等人，通过激光晶化
非晶硅PIN结构的n层为纳米晶硅作为电池
光学薄膜，首次报道最高转换效率为2.5%
•2021年C.C.Kuo，通过在线光学测试，成
功利用激光晶化来控制晶粒大小，调节薄
膜光通过率和反射率
•通过控制激光能量晶化非晶硅薄膜，从而
控制多晶硅光学薄膜层晶粒大小，来调节
光透过率、反射率和电池转换效率
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课题研究的内容及目标
课题研究的内容及目标
•通过控制激光能量晶化非晶硅薄膜，从而
控制多晶硅光学薄膜层晶粒大小，来调节
光透过率、反射率和电池转换效率
•应用于激光诱导晶化非晶硅薄膜太阳能汽
车玻璃，具有可见光透过、防紫外光的成
效，还可以为蓄电池充电
.
不同硅基材料光电性能比较
不同硅基材料光电性能比较
多晶硅微晶硅非晶硅单晶硅纳晶硅
poly-Siuc-Sia-Sisc-Sinc-Si
禁带宽度ev1.21.2~1.71.122.3
1.7
电子迁移率10e210e110e010e310e2
cm2/V*s
转换效率18%/15%20%/
mitsubishisanyoKyocera
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激光能量熔融a-Si薄膜相变潜热
激光能量熔融a-Si薄膜相变潜热
固态非晶硅液态非晶硅固液混合硅
密度2.202.532.33
g/cm3
比热容C(T)=0.952+0.171*T/1685
C(T)
J/g*K
热传导K(T)=4.828*10e-11*(T-
K(T)900)e3+4.828*10e-9*(T-
W/cm*K900)e2+3.714*10e-6*(T-900)+
3.714*10e-2
熔融潜热.
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