《GBT 25915.15-2022洁净室及相关受控环境 第15部分： 按气态化学物浓度评定设备及.pptx

《GB/T25915.15-2022洁净室及相关受控环境第15部分：按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性》最新解读;目录;目录;目录;目录;目录;目录;PART;促进技术进步与产业升级;适用范围;PART;;环境因素;;PART;保障员工健康;通过气态化学物浓度评定，可了解设备及材料在洁净环境中的适应性及性能。;半导体制造;PART;;意义;PART;控制气态化学物浓度是确保洁净室及相关受控环境符合标准的关键。;;定期检查;;PART;;;如甲醛、苯、甲苯等，是常见的室内空气污染物质。;PART;测量原理;评估标准;识别在使用设备及材料过程中可能产生的风险，如气态化学物泄漏