《半导体光伏制造工艺尾气处理装置》.pdf

ICS27.020

CCSJ93

EJCCCSE

中国商业股份制企业经济联合会团体标准

T/EJCCCSEXXXX—XXXX

半导体光伏制造工艺尾气处理装置

Semiconductorphotovoltaicmanufacturingprocessgastreatmentequipment

（征求意见稿）

在提交反馈意见时，请将您知道的相关专利连同支持性文件一并附上。

XXXX-XX-XX发布XXXX-XX-XX实施

中国商业股份制企业经济联合会  发布

T/EJCCCSEXXXX—XXXX

目次

前言II

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

4型号和命名1

5产品参数2

6技术要求2

7试验方法3

8检验规则3

9标志、标签和使用说明书4

10包装、运输和贮存4

I

T/EJCCCSEXXXX—XXXX

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由沈阳裕强科技有限公司提出。

本文件由中国商业股份制企业经济联合会归口。

本文件起草单位：××××、××××、××××

本文件主要起草人：××××、××××、××××

II

T/EJCCCSEXXXX—XXXX

半导体光伏制造工艺尾气处理装置

1范围

本文件规定了半导体光伏制造工艺尾气处理装置的型号和命名、产品参数、技术要求、试验方法、

检验规则、标志、标签和使用说明书、包装、运输和贮存。

本文件适用于半导体光伏制造工艺尾气处理装置的生产和检验。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T191包装储运图示标志

GB/T1804—2000一般公差未注公差的线性和角度尺寸的公差

GB/T3768声学声压法测定噪声源声功率级和声能量级采用反射面上方包络测量面的简易法

GB/T6388运输包装收发货标志

GB/T9969工业产品使用说明书总则

GB/T10125人造气氛腐蚀试验盐雾试验

GB/T13306标牌

GB/T13384机电产品包装通用技术条件

GB/T22360真空泵安全要求

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义。

4型号和命名

装置型号由企业代号、功能特征、形状特征、进排气法兰特征以及特征代码组成。

———

特征代码：“B”标准款；“Z”增强款；“S”升级款