原创力文档- 1、本文档共28页，其中可免费阅读9页，需付费100金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
金刚石线切割单晶硅片制绒工艺的研究
摘要
PAGEI
论文题目：金刚石线切割单晶硅片制绒工艺的研究
摘要
金刚石线切割单晶硅片技术是采用固着金刚石颗粒的钢线代替普通钢线和砂浆对单晶硅进行切割的新型切片技术。与传统的砂浆切割技术相比，它具有切割速率快、对环境较友好以及切割锯屑易回收等优势。但业界反映现行的制绒工艺对金刚石切割的单晶硅片制绒效果不佳，减反射率不高以及表面切割损伤去除难度大，以致下游生产的单晶硅太阳能电池光电转化效率低。本文针对这一问题开展实验研究。
以厚，大的金刚石切断单晶硅晶片为研究对象在0.76wt%KOH、4wt%IPA（异丙醇），1.9wt%KOH、4.7
文档评论（0）