SEM-操作使用手册.doc

ZｅiｓsSupｒa5５(VP)扫描电子显微镜

简要操作指南

一、开机阐明

冷启动环节

启动UPＳ

打开墙上空气开关,确认UＰS背面电池开关打开,按前面面板上Oｎ键至两个绿灯亮。

启动循环水冷机。

按Ｏｎ键,确认水泵1和制冷批示灯亮。

检查出水口压力在２~３ｂａr。出水口压力可由压力表下方阀门调节。

若有报警,检查水位，按Res键。

启动空气压缩机。

确认空气压缩机上启动阀门上开关为“I”状态。检查输出气压为5~6ｂaｒ。

确认主机后两个电源开关状态为Ｏn。

此时，主机前面板上红灯亮。

按下黄键。

阐明:前级真空泵进入工作状态，分子泵、潘宁计和离子泵自动顺序启动。

按下绿键。

按下绿键后,电脑会自动启动,输入计算机密码:

启动ＳmartSEM软件。

顾客名:systｅｍ密码：

检查真空值,等待真空就绪。

注意:当SｙstemVacuｕｍ２×1０-５ｍBar时,会自动打开CIＶ阀门(ｃoｌumｎisｏlaｔｉoｎvalvｅ),并启动离子泵。

当ＧuｎVaｃuum=5×10-９ｍＢar时，可启动灯丝。若长期停机,需做烘烤。

启动灯丝。

10、开TV，检查样品台。

11、装样品(见第二部分)。

12、加高压(EHＴ）。

１3、观测样品。

待机状态

关闭高压(EHT)。

关闭ＳmarｔＳEM软件。

注意：分两步，先关顾客界面ＵｓｅrIntｅrｆace,后关后台程序EＭServｅr。

关Ｗindoｗs。

必要时,关能谱、EBSD。

按下黄键

此时,电子光学系统、样品台及检测系统电源关闭。电镜真空系统和灯丝继续工作。

待机状态启动

按下绿键。

按下绿键后,电脑会自动启动,输入计算机密码：

启动SｍａrtSEＭ软件。

顾客名：ｓｙｓtem密码：

检查真空值。

换样或加高压观测样品。

关机环节

关高压（EＨＴ)和灯丝。

关ＳｍaｒｔＳＥM软件。

注意:分两步,先关顾客界面ＵｓｅrＩntｅrfacｅ,后关后台程序ＥMＳｅrveｒ。

关Winｄows。

关能谱、EBＳD。

按下黄键,等待～10秒钟。

等待电子光学系统、样品台及检测系统电源关闭。

按下红键。

关循环水冷机。

必要时，关氮气总阀门。

必要时,关ＵPS。

必要时,关墙上空气开关。

烘烤环节

确认高压(EHＴ）和灯丝关闭。

拨出高压电线。

先松开四颗螺丝,拔出高压头。

打开监控软件GｕnMｏnitor。

设立监控ＧunＶａcuuｍ和SyｓｔeｍVacuuｍ参数,时间间隔1s。

开始烘烤

菜单栏Tooｌs→ｇotoｐaneｌ→ｂakeout,打开Ｂakeout界面,设定加热时间8～２0h,冷却时间设为2h,开始。

烘烤完毕

结束后检查枪真空值，一般小于1×10-9ｍＢar。关闭ＧｕnＭｏnｉｔｏｒ。插入高压头,锁紧。

二、换样品

装试样。

在备用样品座上装好样品,并记录样品形状、编号和位置。

注意:各样品观测点高度基本一致。确认样品不会脱落，并用洗耳球吹一下。

关高压。

检查插入式探测器状态

打开ＴＶ，将EBSD等插入式探测器拉出。

放气。

点Vｅnt等待~分钟。

注意：确认Ｚｍoｖeonvenｔ选上，这样，放气时样品台会自动下降。

拉开舱门。

注意：拉开舱门前，确认样品台已经降下来,周边探测器处在安全位置。

更换样品座

注意：抓样品座时戴手套,避免碰触样品。

关上舱门。

注意:舱门上O圈有时会脱落,关门时勿夹到异物。

抽真空。

点击Puｍp,等待真空就绪（留意Vａｃｕｕm面板上真空状态)。

等待过程中,可先移动样品台初步定位样品。

换样完毕。

加高压,观测样品

三、成像初步

定位样品。

打开TV,移动样品台。升至工作距离约在5～10mｍ处，平移对准样品。可打开sｔagenaｖigation协助定位。

开高压。

根据检测规定和样品特性,设定加速电压；

观测样品,定位观测区。

全屏迅速扫描(点击工具栏上）;

选择Ｉnlens或ＳE2探头;

缩小放大倍数至最小;

聚焦并调节亮度和对比度(Ｔaｂ键可设立粗调Ｃoarse或细调Ｆine);

读取WD数值;

必要时升降样品台，ＷD常用5~1０ｍm;

移动样品台X、Y,或使用CｅｎtrｅPoint（Ｃｔrｌ+Tab键)定位;

聚焦、放大至~5kＸ、再聚焦、定位；

必要时，调光阑对中。

选区迅速扫描，Aperture面板上,选上Wobｂle，调ＡpertｕreX和Y,消除图像水平晃动。完毕后取消Wｏbbｌe。

消像散。

选区扫描，依次调ＳtiｇmaｔｉonＸ、Y和聚焦，直到图像最清晰。

成像。

进一步放大至~50kX、并进一步聚焦和消像散;

全屏扫描,调亮度和对比度；

用BｅaｍShｉfｔ或Ctr